Tại sao chúng ta chuyển sang sử dụng đèn sấy hồng ngoại UHP trong quy trình sản xuất bán dẫn
Ngành bán dẫn đang dần từ bỏ những lò sấy cũ kỹ. Chúng ta đang chứng kiến sự chuyển dịch mạnh mẽ sang việc sử dụng đèn sấy hồng ngoại có độ tinh khiết cao (UHP). Đây không chỉ là xu hướng của ngành công nghiệp, mà còn là cách để đảm bảo các tiêu chuẩn về việc loại bỏ chì và các chất gây ô nhiễm, đồng thời tránh lãng phí điện năng.
Lý do vì sao đèn UHP hiệu quả hơn
Hãy tưởng tượng cách hoạt động của một lò sấy thông thường: Người ta làm nóng không khí trước, sau đó không khí ấy mới làm nóng các wafer. Quá trình này diễn ra chậm và kém hiệu quả.
Đèn UHP hoạt động theo cơ chế khác. Chúng sử dụng bức xạ sóng ngắn để truyền năng lượng trực tiếp vào vật liệu cần sấy. Nhiệt lượng không bị giữ lại ở thành lò, mà tập trung vào vật liệu cần sấy.
Điều tuyệt vời nhất là bạn có thể thu nhỏ kích thước thiết bị sấy mà vẫn giữ được tốc độ sản xuất. Điều này giúp tiết kiệm diện tích và chi phí điện năng.
Chiến đấu chống lại sự ô nhiễm
Trong môi trường phòng sạch, sự tích tụ khí độc chính là mối nguy hiểm lớn. Chỉ cần một chút chất gây ô nhiễm trong không khí cũng đã gây ra vấn đề.
Đó là lý do tại sao chúng ta sử dụng thủy tinh tổng hợp có độ tinh khiết cao và các chất halogen đặc biệt. Chúng ta cần đảm bảo rằng không có chất kim loại nào lọt vào môi trường sản xuất. Những chiếc đèn này có thể chịu được nhiệt độ cực cao mà không làm hỏng lớp vỏ thủy tinh, từ đó giúp tạo ra nguồn nhiệt sạch, không gây ra các hạt bẩn trên bề mặt wafer.
Sự cân bằng giữa tốc độ và độ chính xác
Đèn UHP có hiệu suất rất cao, vì vậy thời gian khởi động gần như ngay lập tức. Nhưng tốc độ này đi kèm với một rủi ro: Do năng lượng được tập trung cao, bạn cần phải chú ý rất kỹ đến tốc độ di chuyển của wafer và khoảng cách giữa wafer và đèn. Nếu các bộ điều khiển PID không được thiết lập đúng cách, bạn có thể làm cháy mép wafer. Điều này đòi hỏi sự khéo léo để đạt được kết quả tốt nhất.
Làm sạch quy trình sản xuất
Quy trình sấy bằng hồng ngoại là quy trình khô. Điều này có nghĩa là chúng ta không cần sử dụng các chất dung môi hóa học hay chất xúc tác chứa chì nữa – những thứ từng được sử dụng phổ biến trong các quy trình sản xuất truyền thống.
Bằng cách chuyển sang sử dụng đèn UHP, chúng ta có thể loại bỏ hoàn toàn các chất độc hại khỏi quy trình sản xuất. Đây chính là cách đơn giản nhất để đạt được mục tiêu sản xuất với mức phát thải bằng không.