Giữ cho các dụng cụ xử lý wafer hóa học khỏi bị nổ
Hãy thừa nhận rằng: việc kết hợp các chất hóa học dễ cháy với đèn sưởi bằng tia hồng ngoại chính là nguyên nhân gây ra thảm họa. Về cơ bản, bạn đang tạo ra một nguồn nguy cơ cháy nổ ngay trong quy trình sản xuất của mình.
Chúng tôi đã tìm ra cách khắc phục điều này. Thay vì sử dụng những thiết kế mở, để mọi thứ tiếp xúc trực tiếp với môi trường bên ngoài, chúng tôi bọc toàn bộ thiết bị lại bằng lớp vật liệu kín hoàn toàn.
Làm thế nào để đảm bảo an toàn?
Các đèn hồng ngoại thông thường thường không hoạt động tốt trong môi trường hóa học, vì các đầu nối điện và các điểm kín của chúng dễ bị rò rỉ. Hơi hóa học có thể xâm nhập vào bên trong, gây ra nhiều vấn đề. Để ngăn chặn điều này, chúng tôi áp dụng phương pháp hai bước. Đầu tiên, chúng tôi đặt đèn vào chiếc vỏ được làm từ sapphire hoặc thạch anh chống hóa chất. Sau đó, chúng tôi sử dụng chất kết dính chống nổ, có khả năng chịu nhiệt cao, để bảo vệ các đầu nối điện.
Đơn giản thôi: chúng tôi ngăn chặn sự phát sinh tia lửa ngay từ đầu. Chúng tôi cũng đảm bảo rằng lớp vật liệu kín này có thể chịu được các chất tẩy rửa ăn mòn mà bạn sử dụng, để thiết bị không bị hư hỏng sau vài tháng sử dụng.
Xử lý vấn đề nhiệt độ
Bạn có thể nghĩ rằng việc thêm lớp bảo vệ này sẽ làm giảm mật độ nhiệt. Nhưng thực tế không phải vậy. Chúng tôi đã dành nhiều thời gian để điều chỉnh độ dày của lớp vật liệu kín sao cho tia hồng ngoại vẫn có thể chiếu vào wafer mà không bị hấp thụ bởi lớp vỏ bên ngoài.
Nhưng có một vấn đề: bạn cần chú ý đến hiệu ứng trì trệ nhiệt độ. Việc thêm lớp bảo vệ sẽ làm tăng khối lượng của thiết bị. Điều này có nghĩa là việc điều chỉnh nhiệt độ sẽ không còn diễn ra như trước nữa. Nếu bạn thay thế các thiết bị này vào những thiết bị cũ, đừng chỉ sao chép các thiết lập cũ. Bạn có thể sẽ vượt quá mức nhiệt độ mong muốn trong quá trình khởi động, vì vậy hãy dành chút thời gian để điều chỉnh lại đường cong nhiệt độ.
Lắp đặt vào hệ thống của bạn
Chúng tôi thiết kế các thiết bị này để có thể thay thế ngay lập tức. Vì lớp bảo vệ đã được tích hợp ngay trong đèn, bạn không cần phải xây dựng một cái vỏ chống nổ cồng kềnh xung quanh toàn bộ thiết bị. Điều này giúp giảm kích thước thiết bị và giữ cho khu vực làm việc sạch sẽ. Chỉ cần kiểm tra lại xem dây điện có phù hợp với môi trường làm việc của bạn hay không, thì bạn đã có thể sử dụng chúng rồi.