فیکٹری میں، ٹرالی ہیٹرز میں پیدا ہونے والی حرارتی تغیرات کو کوئی خاص اہمیت نہیں دی جاتی۔ یہ تغیرات فوٹوریزسٹ کو بیک کرنے کے دوران 0.3°C کے فرق کی صورت میں ظاہر ہوتے ہیں؛ اور پھر لائن-ویڈتھ میں تغیرات کی شکل میں ظاہر ہوتے ہیں، جن کو درست کرنے میں ایک ہفتہ لگتا ہے۔ ہم نے اپنے کلین روم ٹرالی ہیٹرز کو ایسے ہی ڈیزائن کیا ہے کہ حرارتی تغیرات کو مناسب حد میں رکھا جائے، یعنی پروسیس کے دوران ہی، نہ کہ تغیرات کی وجہ سے۔
تکنیکی اعتبار سے کیا اہم ہے؟
ہم کوارٹز کے خول میں شارٹ-ویو انفراریڈ عناصر استعمال کرتے ہیں؛ ان کا ردِعمل تیز ہے، اور حرارتی ماس کم ہے۔ کام کرنے والے علاقے میں، ویفر کی سطح پر درجہ حرارت کو ±0.1°C کے اندر رکھا جاتا ہے، یعنی 50°C سے 300°C کے درمیان۔ اس کی پیمائش کیلئے کیلیبریٹڈ تھرموکپلز استعمال کئے جاتے ہیں۔ کنٹرول سسٹم بند-لوپ ہے، اور ملٹی-زون کمپنسیشن کی وجہ سے، ایک شفٹ سے دوسری شفٹ میں درجہ حرارت کا فرق ±0.2°C کے اندر رہتا ہے۔
ہیٹر کا جسم استیل سے بنا ہے، اور اس کے سیمز بھی مضبوطی سے بند ہیں۔ ہوا کے بہاؤ کے راستے ایسے ہیں کہ ذرات کا اخراج کم ہو۔ کلین روم کلاس 1–100 کے معیارات کو پورا کرنے کیلئے، خارج ہونے والے ہوا میں موجود ذرات کی باقاعدگی سے جانچ کی جاتی ہے۔
حقیقی کاموں میں یہ کیوں کارگر ہے؟
ویفر کو خشک کرنے اور صاف کرنے کے دوران، ہیٹر درجہ حرارت کو مستحکم رکھتا ہے، تاکہ پانی کی مقدار میں استحکام رہے، اور حرارتی شاک نہ پیدا ہو۔ لیتھوگرافی میں، یہی استحکام سافٹ بیک اور ہارڈ بیک کنٹرول میں مددگار ثابت ہوتا ہے، جس سے باقی رہنے والے حلوں کی مقدار اور CD میں تغیرات کم ہو جاتے ہیں۔
پیکیجنگ کے دوران، تیز رفتار حرارتی تغیرات کی وجہ سے اوون میں وقت کم ہو جاتا ہے، اور گلاس کی خصوصیات برقرار رہتی ہیں۔ توانائی کا استعمال ڈیوٹی-سائیکل کے ذریعہ کنٹرول کیا جاتا ہے، اور قابل پیشن گوئی حرارتی پروفائل کی وجہ سے فضول کام اور دوبارہ کام کرنے کی ضرورت نہیں پڑتی۔
کیا منصوبہ بندی کرنے کی ضرورت ہے؟
نصب کرنے کیلئے، وولٹیج کو مناسب رکھنا ضروری ہے، اور الگ سے کرنٹ فراہم کرنا بھی ضروری ہے۔ ساتھ ہی، یونٹ کو ایسے ہی سیدھا رکھنا ضروری ہے کہ ہوا کا بہاؤ یکساں رہے۔ صاف اور پہلے سے گرم کردہ چیمبر میں ردِعمل تیز ہوتا ہے؛ اگر سرد ماحول میں یونٹ استعمال کیا جائے، تو کنٹرول سسٹم کو استوار ہونے میں کچھ وقت لگتا ہے۔
نصب کرنے کے بعد، اصل ویفر اور کیریئر کے مطابق سیٹپوائنٹس کو جانچنا ضروری ہے۔