لیتھوگرافی کے عمل میں، آپ جانتے ہی ہیں کہ سافٹ بیک یا ہارڈ بیک کے دوران ویفر پر آدھے ڈگری کا فرق پڑنے سے اوورلے مارجن اور لائن-ویڈتھ کنٹرول خراب ہو جاتا ہے۔ صرف سیٹپوائنٹس سے کام نہیں چلتا؛ آپ کو ہر بار ایک یکساں حرارتی ماحول کی ضرورت ہے۔
تکنیکی اعتبار سے کیا اہم ہے؟
ہمارے فوٹوریزسٹ کو خشک کرنے والے انفراریڈ لیمپ، ویفر کے درجہ حرارت کو ±0.1°C کے اندر برقرار رکھتے ہیں، اور تیز رفتاری سے حرارت فراہم کرتے ہیں۔ انفراریڈ روشنی کا استعمال اس لئے کیا گیا ہے تاکہ کم سے کم دباؤ کے ساتھ حرارت فراہم کی جائے۔ لیمپ کا ڈھانچہ اور آپٹیکس، کلین روم کلاس 1-100 کے معیارات کے مطابق بنایا گیا ہے۔ کسی قسم کے ذرات کی پیداوار نہ ہونا، یہ صرف ایک دعویٰ نہیں، بلکہ یہ مواد، ڈھانچے اور ہوا کے بہاؤ کے ذریعہ ہی ممکن ہے۔ اس طرح، 5,000 گھنٹوں سے زیادہ عرصے تک مستقل کارکردگی حاصل کی جاسکتی ہے، اور پروسیس کنٹرول 24/7 جاری رہ سکتا ہے۔
عملی طور پر یہ کیوں کام کرتا ہے؟
فوٹوریزسٹ کی پروسیسنگ میں، بیکنگ کا مرحلہ ایکسپوزر اور ڈویلپمنٹ کے لئے بہت اہم ہے۔ یہ انفراریڈ لیمپ، بیکنگ کے وقت کو کم کرتے ہیں، حرارتی تأخیر کو کم کرتے ہیں، اور پورے ویفر پر یکساں درجہ حرارت برقرار رکھتے ہیں۔ اس کے نتیجے میں، دوبارہ کام کرنے کی ضرورت کم ہو جاتی ہے، فضلہ کم ہو جاتا ہے، اور کریٹیکل ڈائمینشنز میں استحکام برقرار رہتا ہے۔ توانائی کا استعمال بھی کم ہو جاتا ہے، کیوں کہ سسٹم حرارت کو صرف اسی جگہ پہنچاتا ہے جہاں ضرورت ہے۔ قابل اعتماد کارکردگی کی وجہ سے، غیرمتوقع رکاوٹیں کم ہو جاتی ہیں۔
کن باتوں کو مدِ نظر رکھنا ضروری ہے؟
لیمپ کی تنصیب کے وقت، لیمپ کے سائز اور کنیکٹر کی قسم کو آپ کے کوٹنگ/بیکنگ ٹریک یا کیورنگ ماڈیول کے مطابق رکھنا ضروری ہے۔ انٹیگریشن کی حدود بہت سخت ہیں، اور الائنمنٹ سیدھے یکسانیت پر اثر ڈالتا ہے۔ لیمپ اس وقت بہترین کارکردگی دیتا ہے جب چیمبر کا ایگزاسٹ اور کولنگ سسٹم ڈیزائن کے مطابق ہو۔ کسی قسم کی خرابی سے پروفائل میں تبدیلی آسکتی ہے، اور ذرات کا خطرہ بڑھ سکتا ہے۔ لہذا، پہلے ٹیسٹ کرکے ہی پروسیس کو شروع کرنا بہتر ہے۔