http://warm-ir-heater-eco.com/uk/tags/dryer/ Recent content in Dryer on Eco-Friendly Warm IR Heaters Hugo uk Tue, 09 Jun 2026 01:30:44 +0800 http://warm-ir-heater-eco.com/uk/posts/uniform-heating-wafer-dryer/ Tue, 09 Jun 2026 01:30:44 +0800 http://warm-ir-heater-eco.com/uk/posts/uniform-heating-wafer-dryer/ <p><img src="http://warm-ir-heater-eco.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="Універсальна сушарка для пластин з рівномірним нагріванням"></p> <p>Вафля потрапляє на спін-трек, і годинник починає відлік. На лінії хвилина температурного зсуву достатня, щоб змінити критичний розмір, а одна частинка може зіпсувати всю партію. Старі сушарки ніколи не забезпечували рівномірність по всій 300 мм і при цьому залишались чистими. Ми створили Uniform <a href="https://goldisgood.com">Heating</a> Wafer <a href="https://henruite.com">Dryer</a>, щоб виключити цю змінність.</p> <p><strong>Що важливо всередині</strong><br> Всередині короткохвильові інфрачервоні випромінювачі розміщені у камері, оптимізованій під рефлектор, що забезпечує термічну рівномірність на рівні ±0.1°C по всій площі 300 мм, підтверджену відкаліброваною картою з 9 точок. Температурні наростання перевищують 10°C/s із контрольованим перевищенням, що дозволяє дотримуватися теплового бюджету у відповідності з рецептами soft bake і hard bake без перевитримування фоторезисту.<br> Пристрій адаптований для чистих приміщень: робота на рівні класу 1–100, інтегрований повітряний потік із HEPA-фільтрацією, відведення витяжки та матеріали з низьким вивільненням газів, що зводять до нуля утворення частинок під час циклу. Керуюча петля — PID з роздільною здатністю встановлення 0.05°C, можливе збереження рецепту під кожен процес. Така повторюваність забезпечує утримання CD і профілю в межах специфікації зміну за зміною.</p>