http://warm-ir-heater-eco.com/uk/tags/bake/ Recent content in Bake on Eco-Friendly Warm IR Heaters Hugo uk Tue, 30 Jun 2026 02:12:20 +0800 http://warm-ir-heater-eco.com/uk/posts/spin-coater-bake-lamp/ Tue, 30 Jun 2026 02:12:20 +0800 http://warm-ir-heater-eco.com/uk/posts/spin-coater-bake-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-heater-eco.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="Лампа для висушування після нанесення спін покриття"></p> <p>На етапі літографії процес випалювання фоторезисту є не просто способом підготовки обладнання до роботи – це процес, який визначає структуру фоторезисту. Навіть незначна зміна температури на 2°C під час процедури випалювання може порушити контроль за критичними розмірами та призвести до утворення домішок уздовж лінії виробництва. Лампа, яка використовується для випалювання фоторезисту, має одну завдання – підтримувати температуру процесу на постійному рівні, хвилина за хвилиною.</p> <p><strong>Що є важливим у цьому процесі</strong><br> Ми використовуємо галогенові випромінювачі короткохвильового інфрачервоного світла, які знаходяться у кварцовому корпусі. Вони швидко реагують та залишаються стабільними. Це забезпечує однорідність температури на поверхні пластини в межах ±0,1°C, а також точність температури випалювання фоторезисту, що дозволяє контролювати тепловий баланс.</p> http://warm-ir-heater-eco.com/uk/posts/photoresist-soft-bake-temperature-ir/ Sun, 31 May 2026 02:55:23 +0800 http://warm-ir-heater-eco.com/uk/posts/photoresist-soft-bake-temperature-ir/ <p><img src="http://warm-ir-heater-eco.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="Температура м якого випікання фотолаку IR"></p> <p>На ділянці літографії софт-бейк — це не просто прогрів. Це етап, який встановлює профіль розчинника у фоторезисті, фіксує товщину плівки та задає розмірні допуски, що безпосередньо впливають на експозицію та проявлення. Якщо випікання відбувається нерівномірно, це не призводить до плавного зсуву. Виникають варіації ширини лінії, підпори бокової стінки та зниження вихідної продукції, що проявляється саме там, де це критично — у параметричних тестах.</p> <p>Звичайні гарячі плити можуть приховати нерівномірність за рахунок тривалого витримування, але вафлі постійно змінюються. Змінюється щільність рисунка, висоти шарів варіюються, а підкладки стають тоншими — кожен фактор змінює теплове навантаження. Інфрачервоне нагрівання, розроблене з урахуванням вимог напівпровідникової технології, виявляє цю маску. Воно подає тепло саме туди, куди потрібно — швидко і з повторюваним контролем.</p>