http://warm-ir-heater-eco.com/uk/tags/%D0%BF%D0%BE%D0%BA%D1%80%D0%B8%D0%B2%D0%B0%D1%87/ Recent content in Покривач on Eco-Friendly Warm IR Heaters Hugo uk Tue, 30 Jun 2026 02:12:20 +0800 http://warm-ir-heater-eco.com/uk/posts/spin-coater-bake-lamp/ Tue, 30 Jun 2026 02:12:20 +0800 http://warm-ir-heater-eco.com/uk/posts/spin-coater-bake-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-heater-eco.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="Лампа для висушування після нанесення спін покриття"></p> <p>На етапі літографії процес випалювання фоторезисту є не просто способом підготовки обладнання до роботи – це процес, який визначає структуру фоторезисту. Навіть незначна зміна температури на 2°C під час процедури випалювання може порушити контроль за критичними розмірами та призвести до утворення домішок уздовж лінії виробництва. Лампа, яка використовується для випалювання фоторезисту, має одну завдання – підтримувати температуру процесу на постійному рівні, хвилина за хвилиною.</p> <p><strong>Що є важливим у цьому процесі</strong><br> Ми використовуємо галогенові випромінювачі короткохвильового інфрачервоного світла, які знаходяться у кварцовому корпусі. Вони швидко реагують та залишаються стабільними. Це забезпечує однорідність температури на поверхні пластини в межах ±0,1°C, а також точність температури випалювання фоторезисту, що дозволяє контролювати тепловий баланс.</p>