Вафля потрапляє на спін-трек, і годинник починає відлік. На лінії хвилина температурного зсуву достатня, щоб змінити критичний розмір, а одна частинка може зіпсувати всю партію. Старі сушарки ніколи не забезпечували рівномірність по всій 300 мм і при цьому залишались чистими. Ми створили Uniform Heating Wafer Dryer, щоб виключити цю змінність.
Що важливо всередині
Всередині короткохвильові інфрачервоні випромінювачі розміщені у камері, оптимізованій під рефлектор, що забезпечує термічну рівномірність на рівні ±0.1°C по всій площі 300 мм, підтверджену відкаліброваною картою з 9 точок. Температурні наростання перевищують 10°C/s із контрольованим перевищенням, що дозволяє дотримуватися теплового бюджету у відповідності з рецептами soft bake і hard bake без перевитримування фоторезисту.
Пристрій адаптований для чистих приміщень: робота на рівні класу 1–100, інтегрований повітряний потік із HEPA-фільтрацією, відведення витяжки та матеріали з низьким вивільненням газів, що зводять до нуля утворення частинок під час циклу. Керуюча петля — PID з роздільною здатністю встановлення 0.05°C, можливе збереження рецепту під кожен процес. Така повторюваність забезпечує утримання CD і профілю в межах специфікації зміну за зміною.
Чому він застосовується на ділянці літографії
У літографії профіль випікання має бути однаковим о 02:00 та о 14:00. Ця сушарка підтримує стабільність встановленої температури під навантаженням, тому однорідність у зоні прямої видимості гарантує стабільне прилипання фоторезисту та передбачуване видалення крайової кайми. Набір температури швидкий і контрольований, що скорочує час циклу без зниження виходу продукції, а низькопартикулярний дизайн знижує кількість дефектів на вафлі — менше переробок, менше списаних партій.
Масив випромінювачів працює ефективно, а розумні режими очікування зменшують споживання енергії. Надійність забезпечується безперервною роботою 24/7 із плановим технічним обслуговуванням, без несподіваних простоїв.
Що потрібно врахувати при плануванні
Встановлення потребує виділеного вентиляційного каналу та системи кондиціювання живлення класу чистої кімнати — це підтримує тривалість роботи випромінювачів і стабільність керування. Камера оптимізована під вафлі 150 мм і 300 мм, тож переконайтесь, що ваші носії і інтерфейси сумісні з системою автоматизації.
Заплануйте 48-годинний кваліфікаційний прогін для картування температури, кількості частинок і поведінки нагріву відповідно до вашого конкретного шару фоторезисту. Після налаштування процес залишається під контролем.