Перестаньте нагрівати пристрій – почніть сушити пластину.
Якщо ви коли-небудь працювали з виробництва MEMS, ви знаєте, наскільки складно є сушити пластини. Потрібно постійно боротися з залишками речовин на поверхні пластини.
Старий спосіб – використання звичайних конвективних печей – є дуже неефективним. У результаті нагрівається вся камера. Це марна трата енергії, крім того, зовнішня частина дорогого обладнання перетворюється на гігантський радіатор. Нерідко стінки пристрою нагріваються настільки, що можуть обпекти людину.
Саме тому ми перейшли на використання направленого інфрачервоного опалення.
Ось у чому секрет: замість того, щоб нагрівати повітря, ми використовуємо лампи інфрачервоного світла для направленого випромінювання на поверхню пластини. Ми використовуємо короткочастотне інфрачервоне світло, оскільки воно значно швидше проникає крізь шар рідини на поверхні пластини, ніж довгочастотне світло.
Це дає ефект „швидкої сушіння“. Пластина отримує необхідне тепло, а решта частини пристрою залишається прохолодною.
Але неможливо просто направити лампу та сподіватися на краще. Потрібно контролювати процес випромінювання. Ми витрачаємо багато часу на налаштування фокусної відстані та використання відбивачів для загострення променя. Коли промінь є вузьким, не виникає „зайвого тепла“, яке могло б пошкодити обладнання.
Результат? Температура поверхні пристрою залишається низькою. Ваші працівники можуть вільно пересуватися по цеху, не хвилюючись про опіки.
Але це не є чимось чарівним. Є певні недоліки.
Лампи високої інтенсивності дають велику потужність, що є перевагою з точки зору швидкості. Але вони вимагають значних зусиль для своєї роботи. Вони сильно навантажують джерело живлення, крім того, їх потрібно правильно розмістити. Якщо лампа розташована навіть на кілька міліметрів не так, на поверхні пластини з’являються „гарячі точки“.
Крім того, потрібно переконатися, що вентилятори для охолодження справні. Якщо тепло від лампи не буде ефективно відводитися, лампа просто згорить.
У кінцевому підсумку йдеться про те, щоб працювати з законами фізики, а не проти них. Навіщо витрачати стільки енергії на охолодження пристрою, якщо можна просто припинити його нагрівання?