http://warm-ir-heater-eco.com/tr/tags/trolley/ Recent content in Trolley on Eco-Friendly Warm IR Heaters Hugo tr Thu, 25 Jun 2026 01:58:56 +0800 http://warm-ir-heater-eco.com/tr/posts/semiconductor-clean-room-trolley-heater/ Thu, 25 Jun 2026 01:58:56 +0800 http://warm-ir-heater-eco.com/tr/posts/semiconductor-clean-room-trolley-heater/ <p><img src="http://warm-ir-heater-eco.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="Yarı iletken temiz oda arabalı ısıtıcı"></p> <p>Üretim alanında, taşıyıcı ısıtıcılarındaki termal değişimler genellikle önemli bir sorun olarak görülmez. Bu değişimler, fotorezistin pişirilmesi sırasında meydana gelen 0,3°C’lik sapmalar şeklinde <a href="https://henruite.com">kendini</a> gösterir; daha sonra da çizgi genişliğindeki sapmalar olarak ortaya çıkar ve bunları düzeltmek için bir hafta harcanır. Biz de temiz oda taşıyıcı ısıtıcılarımızı, termal değerlerin belirlenen aralıkta kalmasını sağlayacak şekilde tasarladık; yani bu değerler varyasyonlar içinde kalmaz.</p> <p><strong>Teknik açıdan önemli olanlar</strong> Kuvars kılıf içinde çalışan kısa dalga infrakırmızı elementler kullanıyoruz; bu sayede hızlı tepki verirler ve düşük termal kütleye sahiptirler. İş alanında, 50°C ile 300°C arasındaki sıcaklık aralığında, kalibre edilmiş termokupllarla ölçümler yapılarak waferin homojenliği ±0,1°C civarında tutulur. Kontrol kapalı döngü sistemine sahiptir ve çok bölgeli telafi mekanizması sayesinde üretim süreçlerindeki tekrarlanabilirlik ±0,2°C içinde kalır.</p>