http://warm-ir-heater-eco.com/tr/tags/d%C3%B6nme/ Recent content in Dönme on Eco-Friendly Warm IR Heaters Hugo tr Tue, 30 Jun 2026 02:12:20 +0800 http://warm-ir-heater-eco.com/tr/posts/spin-coater-bake-lamp/ Tue, 30 Jun 2026 02:12:20 +0800 http://warm-ir-heater-eco.com/tr/posts/spin-coater-bake-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-heater-eco.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="Döner kaplama fırını ışığı"></p> <p>Litografi işlemlerinde, “bake” işlemi sadece bir ısınma süreci değildir; aslında fotoresistin yapısını belirleyen bir adımdır. Yumuşak veya sert pişirme işlemlerinde meydana gelen 2°C’lik bir değişiklik, kritik boyutların kontrolünü bozar ve hat boyunca istenmeyen kalıntılar oluşmasına neden olur. Spin koaterın pişirme lambasının tek görevi, dakika dakika sürekli olarak işlem sıcaklığını sabit tutmaktır.</p> <p><strong>Önemli olan şeyler</strong><br> Kuvars kılıf içinde yer alan kısa dalga boylu kızılötesi halojen lambalar kullanıyoruz; çünkü bunlar hızlı tepki verir ve stabil kalırlar. Bu sayede plaka üzerindeki sıcaklık düzgünlüğü ±0,1°C aralığında sağlanır ve fotoresistin pişirilme sıcaklığı da hassas bir şekilde kontrol edilir. Böylece termal dengeler korunmuş olur.</p>