Üretim tesislerinde, fotoresistin ısıtılması sırasında meydana gelen 1°C’lik değişiklikler “küçük sapmalar” olarak görülmez. Bu tür sapmalar, hat genişliklerinde farklılıklara, yüzey kusurlarına ve atık ürünlerin oluşmasına neden olur. Kızılötesi ısıtma yöntemi oldukça hassas olabilir; ancak bu ancak kızılötesi kaynağa giden voltajın yeterince stabil olması durumunda mümkündür. Biz de üretim tesislerimiz için bu gereksinimleri karşılayan bir kızılötesi voltaj regülatörü tasarladık.
Teknik açıdan önemli olanlar:
Wafer üzerindeki etkin sıcaklık düzgünlüğünü ±0,1°C seviyesinde tutabilmek için kızılötesi giriş gücünü dar toleranslar içinde sabit tutuyoruz. Böylece hatlardan kaynaklanan dalgalanmalar zirve sıcaklığı üzerinde herhangi bir etki yaratmaz. Regülatör, 1–100 sınıfı temiz odalarda kullanım için uygundur; malzemeleri ve kaplamaları sayesinde parçacık oluşumu neredeyse sıfıra indirilir. Yumuşak ve sert ısıtma işlemleri tekrarlanabilir niteliktedir; çünkü kontrol cihazı voltaj düşüşlerini ve dalgalanmalarını emiciye ulaşmadan önce telafi eder. Düşük termal sapmalar ve uzun servis ömrü sayesinde cihazlar 24/7 çalışabilir; bazı cihazlar %5’den daha az verim kaybıyla 5.000 saatten fazla çalışmıştır.
Litografide döngü süresi, verimlilik ve temizlik hayati öneme sahiptir. Sabit kızılötesi gücü, ısıtma işlemlerinden kaynaklanan hataları azaltır, kalifikasyon sürelerini kısaltır ve kritik boyutların korunmasına yardımcı olur. Ayrıca aşırı ısınmayı ve tekrarlanan işlemleri engelleyerek enerji tasarrufu sağlar ve kızılötesi emicileri voltaj streslerinden koruyarak bakım işlemlerini kolaylaştırır.
İşte pratik detaylar: Regülatörü kızılötesi emiciye uygun hale getirin – kısa dalga, orta dalga veya karbon fiber türünde olsun – ve konektör ve montaj boyutlarının cihazın arayüzüne uygun olduğundan emin olun. Kurulum işlemi oldukça hızlıdır: PID tepkisini sıcak plakanın veya kızılötesi fırının termal özelliklerine göre ayarlarsınız. Yüksek nemli ortamlarda ise uzun vadeli stabiliteyi korumak için kabuk etrafındaki yoğuşmayı kontrol altında tutmalısınız.