The wafer, spin rayine çarpar ve saat işlemeye başlar. Hat üzerinde, bir dakikalık sıcaklık sapması kritik boyutunuzu değiştirmek için yeterlidir ve bir tane partikül tüm lotu yok edebilir. Eski kurutucular, temiz kalırken tüm 300 mm boyunca tam bir homojenlik sağlayamamıştır. Bu değişkenliği ortadan kaldırmak için Uniform Heating Wafer Dryer’ı tasarladık.
Kaputun altında önemli olan
İçerde, kısa dalga kızılötesi yayıcılar, reflektör optimize edilmiş bir ortamda konumlanarak 300 mm boyunca ±0.1°C wafer seviyesi termal homojenliği sağlar; bu 9 noktalı kalibre haritası ile desteklenir. Sıcaklık yükseliş hızı 10°C/saniyeyi aşar ve kontrollü aşım ölçülü olduğundan, termal bütçeniz soft bake ve hard bake tarifleriyle uyumlu olur, fotoresist aşırı kürlenmez.
Cleansroom ortamı için uygundur: Class 1–100 seviyesinde çalışma, HEPA entegreli hava akışı, egzoz filtrasyonu ve çevrim sırasında partikül oluşumunu sıfırda tutan düşük gaz çıkışlı malzemeler kullanılır. Kontrol döngüsü PID olup 0.05°C setpoint çözünürlüğüne sahiptir ve süreç başına bir tarif kaydedebilirsiniz. Bu tekrar edilebilirlik, vardiya sonrası vardiya CD ve profilin spesifikasyonlarda kalmasını sağlar.
Neden litografi sahasında kullanılır
Litografide, pişirme profiliniz 02:00’deki ile 14:00’deki arasında aynı olmalıdır. Bu kurutucu, yük altında setpoint kararlılığını korur; böylece hat üzerindeki görüş alanı homojenliği, tutarlı fotoresist yapışması ve öngörülebilir edge bead temizliği anlamına gelir. Isınma hızlı ve kontrollüdür; bu sayede çevrim süresi kısalırken verimden ödün verilmez. Düşük partikül tasarımı wafere defektlerin bulaşmasını engeller—daha az rötuş, daha az hurda lot.
Yayıcı dizisi verimli çalışır, akıllı bekleme modları enerji tüketimini azaltır. Güvenilirlik, 7/24 kesintisiz işletim ve planlı bakım ile sağlanır, beklenmedik duruşlarla değil.
Planlamanız gerekenler
Kurulum için özel bir egzoz portu ve temizoda sınıfına uygun güç düzenleyici gerekir—bu, yayıcı ömrünü korur ve kontrol kararlılığını yüksek tutar. Ortam, 150 mm ve 300 mm wafer’lar için optimize edilmiştir; taşıyıcılarınız ve arayüzlerinizin otomasyon teslimatına uygun olduğundan emin olun.
Sıcaklık, partikül sayımı ve ısıtma davranışını kendi fotoresist yapınıza karşı 48 saatlik bir kalibrasyon çalışması ile haritalandırmayı planlayın. Bu uyum sağlandıktan sonra süreç kontrol altında kalır.