หลอดไฟสำหรับการอบวัสดุโฟโตรีซิสต์

Fri, 26 Jun 2026 02:01:33 +0800

ในขั้นตอนการผลิตด้วยเทคโนโลยีลิโธกราฟี แม้ว่าจะมีการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิเพียงครึ่งองศาเดียวก็สามารถทำให้ขนาดของชิ้นส่วนเปลี่ยนแปลงไปได้ถึงหลายนาโนเมตร การเปลี่ยนแปลงดังกล่าวจะนำไปสู่การต้องทำงานซ้ำ หรือทำให้เกิดของเสีย และทำให้ไม่สามารถปฏิบัติตามมาตรฐานที่กำหนดได้ เราจึงออกแบบหลอดไฟสำหรับการอบวัสดุโฟโตเรซิสต์ให้มีความสามารถในการควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำ ตั้งแต่รอบการผลิตหนึ่งไปยังอีกรอบหนึ่ง

สิ่งที่สำคัญในการทำงาน เราใช้หลอดไฟอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้น (NIR) เพื่อให้ความร้อนแก่วัสดุโฟโตเรซิสต์โดยตรงและอย่างรวดเร็ว อุณหภูมิที่ได้จะคงที่อยู่ในช่วง 50°C ถึง 250°C ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิบนวัสดุจะอยู่ในช่วง ±0.1°C และความสามารถในการทำซ้ำได้จะอยู่ในช่วง ±0.5°C ระหว่างแต่ละชุดวัสดุที่ใช้ในการผลิต หลอดไฟนี้ยังเหมาะสำหรับการใช้งานในห้องที่มีมาตรฐานตั้งแต่ Class 1 ไปจนถึง Class 100 โดยมีการเลือกวัสดุและอุปกรณ์ที่ช่วยลดการปล่อยก๊าซและการเกิดอนุภาคต่างๆ อุณหภูมิจะถูกวัดและบันทึกไว้แบบเรียลไทม์ เพื่อให้สามารถเชื่อมโยงข้อมูลกับผลลัพธ์การผลิตได้

เหตุผลที่หลอดไฟนี้สามารถใช้งานได้อย่างมีประสิทธิภาพ หลอดไฟนี้สามารถควบคุมขั้นตอนการให้ความร้อนได้อย่างมีประสิทธิภาพ ไม่ว่าจะเป็นการอบวัสดุให้แห้ง การอบวัสดุโฟโตเรซิสต์ หรือการอบเพื่อให้วัสดุแข็งตัว โดยไม่ทำให้อุณหภูมิสูงเกินไป การเพิ่มอุณหภูมิจะเกิดขึ้นอย่างรวดเร็ว ทำให้เวลาในการผลิตลดลง โดยไม่ทำให้วัสดุโฟโตเรซิสต์เสียหาย ความสามารถในการควบคุมสเปกตรัมของแสงยังช่วยลดอุณหภูมิของวัสดุได้อีกด้วย ส่งผลให้มีข้อบกพร่องน้อยลง มีของเสียน้อยลง และสามารถควบคุมขนาด รูปร่าง และปริมาณสารละลายที่เหลือได้อย่างดี นอกจากนี้ การใช้พลังงานก็ลดลง เพราะความร้อนจะถูกนำไปใช้กับวัสดุโฟโตเรซิสต์เท่านั้น ไม่ได้ถูกใช้กับอุปกรณ์หรือห้องผลิต

ข้อควรระวังในการใช้งานจริง ความเข้มของแสง NIR จะลดลงตามกำลังสองของระยะห่าง ดังนั้นระยะห่างระหว่างหลอดไฟกับวัสดุจึงต้องมีความแน่นอนและสามารถทำซ้ำได้ ควรมีเวลาสำหรับการอุ่นเครื่องและปรับตั้งค่าก่อนเริ่มการผลิตแต่ละครั้ง ต้องตรวจสอบให้แน่ใจว่าวัสดุที่ใช้สำหรับการยึดวัสดุโฟโตเรซิสต์และรูปร่างของตัวสะท้อนแสงนั้นเหมาะสมกับลักษณะการให้ความร้อนของหลอดไฟ การนำหลอดไฟนี้มาใช้ร่วมกับระบบการผลิตที่มีอยู่ก็ทำได้ง่าย แต่ต้องวางแผนเรื่องการปรับเปลี่ยนโครงสร้างและระบบระบายความร้อนด้วย

การอบ on Eco-Friendly Warm IR Heaters

หลอดไฟสำหรับการอบวัสดุโฟโตรีซิสต์