ในโรงงานผลิตชิป ความเปลี่ยนแปลงของอุณหภูมิเพียง 1°C ในเตาอบก็ถือเป็นเรื่องสำคัญมาก เพราะจะส่งผลต่อประสิทธิภาพการผลิต การอบแห้งวงจรรวม การอบแบบพรี-เบค และการอบหลังการถ่ายภาพ ล้วนต้องอาศัยการควบคุมอุณหภูมิอย่างเข้มงวด นี่คือเหตุผลที่เราสร้างระบบเครื่องทำความร้อนขึ้นในประเทศจีน เพื่อสร้างเครื่องทำความร้อนแบบอินฟราเรดที่มีประสิทธิภาพสูง ซึ่งออกแบบมาเพื่อควบคุมกระบวนการผลิตชิป ไม่ใช่เพื่อการโฆษณา
สิ่งที่สำคัญทางเทคนิค โมดูลอินฟราเรดของเราสามารถรักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิได้ที่ระดับ ±0.1°C ทั่วพื้นผิววงจรรวม โดยมีความแม่นยำในการตั้งค่าอุณหภูมิอยู่ที่ ±0.2°C อัตราการเพิ่มอุณหภูมิที่รวดเร็วช่วยให้รูปร่างของวงจรรวมคงที่ และการไม่มีการก่อตัวของอนุภาคช่วยให้จำนวนอนุภาคในห้องสะอาดอยู่ในระดับ Class 1–100 องค์ประกอบแบบควอตซ์-ฮาโลเจนช่วยให้มีสเปกตรัมที่มั่นคง ทำให้การดูดซับแสงของฟอโตรีซิสต์มีความสม่ำเสมอ นอกจากนี้ ตัวเครื่องทำความร้อนยังสามารถใช้งานได้กับสภาพแวดล้อมแบบสุญญากาศหรือบรรยากาศที่ปราศจากออกซิเจนได้ อีกทั้งความหนาแน่นของพลังงานที่ใช้ก็ถูกกำหนดตามคุณสมบัติทางความร้อนของวงจรรวม ไม่ใช่ตามขนาดของตัวเครื่องทำความร้อนเอง ดังนั้นกระบวนการผลิตจึงได้รับอุณหภูมิที่แน่นอน ไม่ใช่อุณหภูมิของตัวเครื่องทำความร้อน
เหตุผลที่มันได้ผลจริง ในกระบวนการลิโธกราฟี อุณหภูมิในการอบมีผลโดยตรงต่อความหนืดของฟอโตรีซิสต์และความหนาของชั้นฟิล์ม โดยวิธีการใช้อินฟราเรดของเราช่วยให้สามารถควบคุมค่าเหล่านี้ได้อย่างแม่นยำ ซึ่งช่วยลดความแปรปรวนของค่า CD และปัญหาอื่นๆ สำหรับการอบแห้งวงจรรวมหลังการทำความสะอาด การอบด้วยอุณหภูมิที่สม่ำเสมอจะช่วยให้รูปร่างของวงจรรวมคงที่ และไม่มีปัญหาเรื่องความชื้น นอกจากนี้ เนื่องจากอินฟราเรดทำความร้อนโดยตรงกับวงจรรวม จึงช่วยลดการใช้พลังงานลง อุปกรณ์เหล่านี้สามารถทำงานได้ 24/7 โดยมีความจำเป็นในการบำรุงรักษาน้อยมาก ข้อมูลจากการใช้งานจริงแสดงให้เห็นว่าสามารถทำงานได้มากกว่า 5,000 ชั่วโมง โดยมีความเปลี่ยนแปลงของอุณหภูมิน้อยกว่า 5%
สิ่งที่คุณต้องเตรียมไว้ เครื่องทำความร้อนเหล่านี้ต้องการแหล่งจ่ายไฟที่มีความแม่นยำ และการปรับค่าความสามารถในการปล่อยรังสีให้เหมาะสมกับแต่ละขั้นตอนการผลิต การนำเครื่องเหล่านี้มาใช้ในเตาอบแบบเดิมนั้นทำได้ง่าย แต่หากมีการเปลี่ยนแปลงคุณสมบัติทางความร้อนของวงจรรวม ก็อาจจำเป็นต้องมีเวลาในการปรับแต่งเพื่อให้ได้อุณหภูมิที่เหมาะสม ก่อนที่จะนำไปใช้ในกระบวนการผลิตจริง ควรมีการทดสอบการใช้งานเป็นเวลา 100 ชั่วโมงก่อน