Инфракрасная лампа для отверждения фотополимера

Thu, 02 Jul 2026 04:06:17 +0800

На этапе литографии существует определенный алгоритм действий: даже небольшое смещение пластины на полградуса во время процедуры просушки может серьезно повлиять на точность контроля толщины слоев и размеров линий на поверхности пластины. Одних лишь параметров настроек недостаточно для обеспечения стабильного качества продукции. Необходима термическая однородность, которая сохраняется на протяжении всего цикла обработки.

Что имеет значение с технической точки зрения Инфракрасные лампы, используемые для отверждения фоторезиста, обеспечивают однородность температуры на всей поверхности пластины в пределах ±0,1°C. Быстрая регулировка температуры позволяет сохранять стабильные условия обработки. Используется инфракрасный спектр излучения, который позволяет передавать тепло с минимальным воздействием на саму пластину. Корпус лампы и ее оптические элементы разработаны таким образом, чтобы соответствовать требованиям чистых помещений класса 1–100. Отсутствие частиц в воздухе — это не просто требование, а нечто, что встроено в саму конструкцию лампы. Это позволяет получать стабильные результаты при обработке, а также контролировать процесс круглосуточно.

Температура мягкой сушке фоторезиста IR

Sun, 31 May 2026 02:55:22 +0800

На литографическом участке мягкий отжиг — это не просто прогрев. Это этап, который задаёт профиль растворителя в фоторезисте, фиксирует толщину пленки и формирует допуски по размерам, которые точно переносятся в экспозицию и проявление. При неравномерном отжиге не возникает плавных отклонений. Возникают вариации ширины линий, образование нарастаний у боковых стенок и снижение выхода годных, что проявляется именно там, где это наиболее критично — в параметрических тестах.

Традиционные плитки с подогревом могут маскировать неравномерность за счёт длительного времени выстаивания, но пластины продолжают изменяться. Плотность рисунка меняется, высоты слоёв варьируются, и подложки становятся всё тоньше — все эти факторы влияют на тепловую нагрузку. Инфракрасный нагрев, когда он реализован с учётом требований полупроводниковой отрасли, снимает эту маскировку. Он подаёт тепло туда, куда нужно — быстро и с повторяемым контролем.

Фоторезист on Eco-Friendly Warm IR Heaters

Инфракрасная лампа для отверждения фотополимера

Температура мягкой сушке фоторезиста IR