Нагреватель для обеспечения работы криогенной системы

Sun, 28 Jun 2026 02:11:53 +0800

На производственном участке стабильность температуры — это не просто желательное свойство, а неотъемлемая часть процесса. При сушке пластин и обработке фоторезиста даже небольшое изменение температуры в несколько десятых градуса может привести к изменению критических размеров изделий, появлению остатков или дефектов на поверхности. Мы разработали специальные нагреватели для криогенных систем, которые помогают поддерживать стабильную температуру именно в том месте, где пластина встречается с процессными устройствами.

Что имеет значение с технической точки зрения
Мы используем компактные нагреватели с коротковолновым инфракрасным излучением и быстрой системой управления. Это позволяет достичь однородности температуры на уровне пластины в пределах ±0,1°C. Такая конструкция минимизирует эффекты холодных зон и обеспечивает стабильность параметров при производстве серий изделий. Именно это необходимо, когда время проведения процесса очень ограничено. Работоспособность нагревателя сохраняется более 5 000 часов; материалы и элементы соединений выбраны таким образом, чтобы минимизировать образование частиц, что позволяет использовать его в чистых комнатах класса 1–100.

Система on Eco-Friendly Warm IR Heaters

Нагреватель для обеспечения работы криогенной системы