Нагреватель для обеспечения работы криогенной системы

Sun, 28 Jun 2026 02:11:53 +0800

На производственном участке стабильность температуры — это не просто желательное свойство, а неотъемлемая часть процесса. При сушке пластин и обработке фоторезиста даже небольшое изменение температуры в несколько десятых градуса может привести к изменению критических размеров изделий, появлению остатков или дефектов на поверхности. Мы разработали специальные нагреватели для криогенных систем, которые помогают поддерживать стабильную температуру именно в том месте, где пластина встречается с процессными устройствами.

Что имеет значение с технической точки зрения
Мы используем компактные нагреватели с коротковолновым инфракрасным излучением и быстрой системой управления. Это позволяет достичь однородности температуры на уровне пластины в пределах ±0,1°C. Такая конструкция минимизирует эффекты холодных зон и обеспечивает стабильность параметров при производстве серий изделий. Именно это необходимо, когда время проведения процесса очень ограничено. Работоспособность нагревателя сохраняется более 5 000 часов; материалы и элементы соединений выбраны таким образом, чтобы минимизировать образование частиц, что позволяет использовать его в чистых комнатах класса 1–100.

Инфракрасная лампа с молибденовой спиралью

Sat, 06 Jun 2026 01:44:27 +0800

На уровне подложки фотолитографии термообработка фоторезиста — это не просто температурный этап, это тепловой контракт. Отклонение температуры на 1°C при мягкой или твердой выпечке сдвинет критические размеры и приведет к снижению выхода годных изделий. Мы разработали инфракрасную лампу с молибденовой опорой, чтобы удерживать этот тепловой профиль стабильным из цикла в цикл.

Что технически важно
Излучатель работает в коротковолновом инфракрасном диапазоне для быстрого направленного нагрева, который остается в пределах теплового бюджета фоторезиста. Опорные конструкции из молибдена обеспечивают стабильность при высоких температурах с низкой степенью десорбции, что позволяет поддерживать низкий уровень частиц даже в чистых помещениях классов 1–100. Система ориентирована на равномерность температуры на поверхности выпечки на уровне ±0,1°C, а параметр воспроизводимости гарантирует жесткое удержание заданной температуры. Выходная мощность сохраняется стабильной при длительных производственных запусках — полевые образцы отработали более 5000 часов с падением мощности менее 5%.

Поддержка on Eco-Friendly Warm IR Heaters

Нагреватель для обеспечения работы криогенной системы

Инфракрасная лампа с молибденовой спиралью