http://warm-ir-heater-eco.com/ru/tags/%D0%BC%D1%8D%D0%BC%D1%81/ Recent content in МЭМС on Eco-Friendly Warm IR Heaters Hugo ru Mon, 27 Jul 2026 17:04:12 +0800 http://warm-ir-heater-eco.com/ru/posts/reducing-equipment-wall-heat-in-mems-wafer-drying-via-directional-ir-heating/ Mon, 27 Jul 2026 17:04:12 +0800 http://warm-ir-heater-eco.com/ru/posts/reducing-equipment-wall-heat-in-mems-wafer-drying-via-directional-ir-heating/ <p><img src="http://warm-ir-heater-eco.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="Нагреватель для сушки пластин с датчиками MEMS"></p> <p>Прекратите нагревание оборудования – начните сушку вафер. Если вы когда-либо работали над производством MEMS-устройств, вы знаете, насколько сложно сушить ваферы. Приходится постоянно бороться с остатками жидкости на поверхности ваферов.</p> <p>Старый способ – использование обычных конвекционных печей – крайне неэффективен. В результате нагревается вся камера. Это расточительство энергии, к тому же внешняя часть дорогостоящего оборудования превращается в своего рода радиатор. Нередко стены оборудования нагреваются до такой степени, что могут обжечь человека.</p> <p>Поэтому мы перешли на использование направленного инфракрасного нагрева. Секрет заключается в том, что вместо нагрева воздуха мы используем инфракрасные лампы, которые направляют электромагнитное излучение прямо на поверхность вафера. Мы используем коротковолновое инфракрасное излучение, поскольку оно быстрее проникает сквозь слой жидкости на поверхности вафера, чем длинноволновое излучение.</p>