Инфракрасная лампа с молибденовой спиралью

Sat, 06 Jun 2026 01:44:27 +0800

На уровне подложки фотолитографии термообработка фоторезиста — это не просто температурный этап, это тепловой контракт. Отклонение температуры на 1°C при мягкой или твердой выпечке сдвинет критические размеры и приведет к снижению выхода годных изделий. Мы разработали инфракрасную лампу с молибденовой опорой, чтобы удерживать этот тепловой профиль стабильным из цикла в цикл.

Что технически важно
Излучатель работает в коротковолновом инфракрасном диапазоне для быстрого направленного нагрева, который остается в пределах теплового бюджета фоторезиста. Опорные конструкции из молибдена обеспечивают стабильность при высоких температурах с низкой степенью десорбции, что позволяет поддерживать низкий уровень частиц даже в чистых помещениях классов 1–100. Система ориентирована на равномерность температуры на поверхности выпечки на уровне ±0,1°C, а параметр воспроизводимости гарантирует жесткое удержание заданной температуры. Выходная мощность сохраняется стабильной при длительных производственных запусках — полевые образцы отработали более 5000 часов с падением мощности менее 5%.

Молибден on Eco-Friendly Warm IR Heaters

Инфракрасная лампа с молибденовой спиралью