Температура мягкой сушке фоторезиста IR

Sun, 31 May 2026 02:55:22 +0800

На литографическом участке мягкий отжиг — это не просто прогрев. Это этап, который задаёт профиль растворителя в фоторезисте, фиксирует толщину пленки и формирует допуски по размерам, которые точно переносятся в экспозицию и проявление. При неравномерном отжиге не возникает плавных отклонений. Возникают вариации ширины линий, образование нарастаний у боковых стенок и снижение выхода годных, что проявляется именно там, где это наиболее критично — в параметрических тестах.

Традиционные плитки с подогревом могут маскировать неравномерность за счёт длительного времени выстаивания, но пластины продолжают изменяться. Плотность рисунка меняется, высоты слоёв варьируются, и подложки становятся всё тоньше — все эти факторы влияют на тепловую нагрузку. Инфракрасный нагрев, когда он реализован с учётом требований полупроводниковой отрасли, снимает эту маскировку. Он подаёт тепло туда, куда нужно — быстро и с повторяемым контролем.

ИР on Eco-Friendly Warm IR Heaters

Температура мягкой сушке фоторезиста IR