Как правильно нагревать кристаллы из кремния (без траты энергии)
При процессе промывки кремниевых пластин необходимо соблюсти определенный баланс. С одной стороны, поверхность пластины должна быть сухой и горячей; с другой стороны, нельзя превращать всю камеру в духовку или тратить слишком много энергии.
Мы решаем эту проблему, используя водонепроницаемые инфракрасные лампы вместе с отражателями, покрытыми золотом. Вот почему это важно.
Почему именно золото?
Большинство людей используют алюминиевые отражатели. Они действительно дешевы. Но алюминий поглощает большую часть инфракрасной энергии, вместо того чтобы направлять ее туда, где она нужна.
Мы используем золото, потому что оно отлично отражает ближнее инфракрасное световое излучение. Это делается не ради красоты, а ради эффективности. Золото отражает гораздо больше фотонов обратно на пластину, что позволяет достичь желаемой температуры быстрее и при меньших затратах энергии.
Как справиться с теплом
Эти лампы спроектированы так, чтобы работать в влажной и загрязненной среде. Благодаря фокусировке излучения мы предотвращаем утечку лишнего тепла в корпус устройства. Таким образом, тепло сосредотачивается именно там, где это необходимо.
Но будем честны: золото — дорогостоящий материал. Первоначальные затраты будут выше, чем при использовании алюминия. Но нужно решить, стоят ли более быстрые циклы обработки и меньшие расходы на электроэнергию таких затрат. Обычно они того стоят.
Поддержание работы устройства
Самое хорошее в этих лампах то, что они могут заменять существующие инфракрасные лампы. Они подходят для использования в стандартных устройствах. Мы также позаботились о том, чтобы узлы герметично закрывались, чтобы химикаты, используемые для промывки, не попадали внутрь и не повреждали лампы.
Совет: если ваша система охлаждения не может справиться с дополнительным тепловым потоком, возможны странные колебания температуры. Следите за работой контроллеров температуры.
А еще — проверяйте отражатели каждый квартал. Если на них накапливаются загрязнения, их отражающая способность снижается. Лампам приходится работать усерднее, что приводит к быстрому износу. Держите отражатели в чистоте, и они прослужат дольше.