Regulador de tensão para IR fab

Sat, 20 Jun 2026 02:42:24 +0800

Na linha de produção, uma variação de 1°C durante o processo de secagem do fotorresistente não é algo insignificante. Isso resulta em maior dispersão da largura das linhas, formação de espuma e desperdício de materiais. O aquecimento por IR pode ser preciso, mas somente se a tensão fornecida à fonte de IR for estável o suficiente para manter o equilíbrio térmico. Nós desenvolvemos um regulador de tensão para IR que atenda a essa exigência.

O que é importante tecnicamente:
Nosso objetivo é alcançar uma uniformidade de temperatura de ±0,1°C em toda a superfície do wafer, mantendo a potência de entrada do IR dentro de tolerâncias estreitas. Dessa forma, as flutuações causadas pelas linhas de irradiação não afetam a temperatura máxima. O regulador é compatível com ambientes de classe 1–100, com materiais e acabamentos que minimizam a geração de partículas. Os perfis de secagem suave e intensa permanecem consistentes, pois o controlador compensa as flutuações de tensão antes mesmo que elas cheguem aos emissores de IR. É possível operar 24/7 com baixa variação térmica e longos intervalos entre manutenções – os equipamentos já funcionaram por mais de 5.000 horas, com redução na capacidade de saída inferior a 5%.

Tensão on Eco-Friendly Warm IR Heaters

Regulador de tensão para IR fab