Aquecedor para secagem de pastilhas de sensores MEMS

Mon, 27 Jul 2026 17:04:12 +0800

Pare de aquecer a máquina e comece a secar as pastilhas.
Se você já trabalhou na fabricação de MEMS, sabe bem as dificuldades envolvidas no processo de secagem das pastilhas. É preciso lutar constantemente contra os resíduos que ficam nas superfícies das pastilhas.

O método tradicional – usar fornos convencionais – é bastante ineficaz. Acaba-se aquecendo toda a câmara, o que representa um desperdício de energia. Além disso, isso faz com que as paredes do equipamento fiquem muito quentes, podendo até causar queimaduras em quem estiver por perto.

Lâmpada de secagem para semicondutor orgânico

Tue, 02 Jun 2026 04:14:08 +0800

No piso de litografia, não há muita margem de manobra entre soft bake e hard bake. Uma variação de meio grau pode alterar a espessura do fotoresiste, deslocar o viés da dimensão crítica e, de repente, sua produtividade sai da especificação. Desenvolvemos uma lâmpada de secagem para semicondutores orgânicos que reduz essa janela e evita que o processo fuja do controle.
O que importa no funcionamento interno
Ela incide no wafer com NIR e mantém o espectro sob controle, permitindo um aquecimento rápido e sem contato. Em todo o campo de exposição, a uniformidade térmica a nível de wafer se mantém em ±0,1°C — cada dado recebe o mesmo orçamento térmico. Opera em salas limpas Classe 1–100 sem gerar partículas, e a saída permanece estável por mais de 5.000 horas, com queda inferior a 5%. De uma execução para outra, a repetibilidade da temperatura de bake do fotoresiste é consistente, e o sistema funciona 24/7 sem paradas não programadas.
Por que se adequa ao processo
Este é o tipo de equipamento usado quando a receita é sensível. O soft bake define o perfil do solvente, o hard bake fixa a adesão e a seletividade de gravação, e qualquer não uniformidade térmica aparece como variação na largura da linha após a gravação. A lâmpada reduz a rampa térmica, minimiza o estresse na pilha e torna o tempo de ciclo previsível. Consome menos energia que fornos de convecção, e seu espaço ocupado se integra diretamente nas linhas de coat/bake existentes sem necessidade de reconfiguração do layout.
O que é necessário observar
A instalação requer compatibilizar a lâmpada com a geometria da câmara e confirmar o tipo do conector de interface. A lâmpada não tolera superfícies refletivas, portanto, blindagem e alinhamento devem ser verificados durante a qualificação. Uma vez ajustada, opera com necessidade mínima de regulagem — basta manter a temperatura do fluido de resfriamento estável e seguir o cronograma de manutenção preventiva.

Secagem on Eco-Friendly Warm IR Heaters

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