Lâmpada infravermelha com suporte de molibdênio

Sat, 06 Jun 2026 01:44:27 +0800

No piso do wafer, a queima do fotoresiste não é apenas uma etapa de temperatura—é um contrato térmico. Uma variação de 1°C na soft bake ou hard bake desloca as dimensões críticas e impacta o rendimento do traçado. Desenvolvemos a lâmpada infravermelha suportada por molibdênio para manter essa linha térmica estável, ciclo após ciclo.

O que importa, tecnicamente
O emissor opera com infravermelho de onda curta para aquecimento rápido e direcional que se mantém dentro do orçamento térmico do fotoresiste. As estruturas de suporte em molibdênio garantem estabilidade em alta temperatura com baixa emissão de gases, mantendo a contagem de partículas reduzida mesmo em salas limpas Classe 1–100. O sistema tem como meta uniformidade a nível de wafer dentro de ±0,1°C em toda a superfície de queima, com repetitividade especificada para manter o ponto de ajuste rigidamente controlado. A saída permanece estável em longos ciclos—unidades em campo já acumularam mais de 5.000 horas com queda inferior a 5%.

Molibdênio on Eco-Friendly Warm IR Heaters

Lâmpada infravermelha com suporte de molibdênio