Aquecedor para carrinhos em salas limpas de semicondutores

Thu, 25 Jun 2026 01:58:56 +0800

Na fábrica, a variação térmica em um aquecedor de tipo “trolley” não é considerada um problema grave. Ela se manifesta como uma variação de 0,3°C durante o processo de secagem do fotoresistente – e também como uma variação na largura das linhas desenhadas, o que exige semanas de trabalho para ser corrigido. Nós projetamos nossos aquecedores para manter a temperatura dentro dos limites estabelecidos pelo processo, e não fora desses limites.

O que é importante, do ponto de vista técnico Usamos elementos infravermelhos de onda curta, encapsulados em quartzo – o que garante resposta rápida e baixa massa térmica. Em toda a área de trabalho, mantemos a uniformidade da temperatura em ±0,1°C, entre 50°C e 300°C, com medições feitas por termopares calibrados sob condições equivalentes às de produção real. O controle é feito por meio de um sistema de retroalimentação, com compensação em múltiplas zonas, garantindo assim que a repetibilidade entre diferentes ciclos de produção fique dentro de ±0,2°C.

Carroça on Eco-Friendly Warm IR Heaters

Aquecedor para carrinhos em salas limpas de semicondutores