Aquecedor de suporte para sistema criogênico

Sun, 28 Jun 2026 02:11:53 +0800

Na área de produção, a estabilidade da temperatura não é algo opcional – ela é essencial para o processo. No secamento das bolachas de silício e no manuseio do fotoreativo, até mesmo uma variação de alguns décimos de grau pode afetar as dimensões críticas dos componentes, causar resíduos ou defeitos na superfície dos mesmos. Por isso, desenvolvemos aquecedores de suporte criogênico para manter o perfil térmico estável exatamente no ponto onde o substrato entra em contato com o processo de produção.

Lâmpada infravermelha com suporte de molibdênio

Sat, 06 Jun 2026 01:44:27 +0800

No piso do wafer, a queima do fotoresiste não é apenas uma etapa de temperatura—é um contrato térmico. Uma variação de 1°C na soft bake ou hard bake desloca as dimensões críticas e impacta o rendimento do traçado. Desenvolvemos a lâmpada infravermelha suportada por molibdênio para manter essa linha térmica estável, ciclo após ciclo.

O que importa, tecnicamente
O emissor opera com infravermelho de onda curta para aquecimento rápido e direcional que se mantém dentro do orçamento térmico do fotoresiste. As estruturas de suporte em molibdênio garantem estabilidade em alta temperatura com baixa emissão de gases, mantendo a contagem de partículas reduzida mesmo em salas limpas Classe 1–100. O sistema tem como meta uniformidade a nível de wafer dentro de ±0,1°C em toda a superfície de queima, com repetitividade especificada para manter o ponto de ajuste rigidamente controlado. A saída permanece estável em longos ciclos—unidades em campo já acumularam mais de 5.000 horas com queda inferior a 5%.

Apoio on Eco-Friendly Warm IR Heaters

Aquecedor de suporte para sistema criogênico

Lâmpada infravermelha com suporte de molibdênio