Na linha de produção, uma variação de 1°C durante o processo de secagem do fotorresistente não é algo insignificante. Isso resulta em maior dispersão da largura das linhas, formação de espuma e desperdício de materiais. O aquecimento por IR pode ser preciso, mas somente se a tensão fornecida à fonte de IR for estável o suficiente para manter o equilíbrio térmico. Nós desenvolvemos um regulador de tensão para IR que atenda a essa exigência.
O que é importante tecnicamente:
Nosso objetivo é alcançar uma uniformidade de temperatura de ±0,1°C em toda a superfície do wafer, mantendo a potência de entrada do IR dentro de tolerâncias estreitas. Dessa forma, as flutuações causadas pelas linhas de irradiação não afetam a temperatura máxima. O regulador é compatível com ambientes de classe 1–100, com materiais e acabamentos que minimizam a geração de partículas. Os perfis de secagem suave e intensa permanecem consistentes, pois o controlador compensa as flutuações de tensão antes mesmo que elas cheguem aos emissores de IR. É possível operar 24/7 com baixa variação térmica e longos intervalos entre manutenções – os equipamentos já funcionaram por mais de 5.000 horas, com redução na capacidade de saída inferior a 5%.
Em células de litografia, o tempo de ciclo, a produtividade e a limpeza são fatores cruciais. Uma potência de IR estável evita retrabalhos devido à irregularidade no processo de secagem, acelera o processo de qualificação e ajuda a manter as dimensões críticas sob controle. Além disso, isso reduz o consumo energético, pois evita oscilações excessivas e ciclos desnecessários. Também facilita a manutenção, ao proteger os emissores de IR das flutuações de tensão.
Aqui estão os detalhes práticos: escolha o regulador adequado para o emissor de IR – onda curta, onda média ou fibra de carbono – e verifique as dimensões dos conectores e montagens em relação à interface do seu equipamento. A configuração inicial é rápida: basta ajustar a resposta PID de acordo com a massa térmica da placa quente ou do forno de IR. Em ambientes com alta umidade, planeje medidas para controlar a condensação ao redor do equipamento, para manter sua estabilidade a longo prazo.