Por que estamos abandonando o uso de ar quente em favor do aquecimento por infravermelho no processo de fabricação de semicondutores
Se você ainda depende da circulação de ar quente para os ciclos térmicos, provavelmente está gastando muito tempo apenas esperando. No processamento avançado de semicondutores, esse tempo de espera é um grande obstáculo. É o gargalo que faz com que tudo fique mais lento. Passar para o aquecimento por infravermelho não significa comprar equipamentos novos e caros. Significa recuperar seu tempo. O problema com o ar Pense em como o ar quente funciona: você aquece o ar, e depois o ar precisa aquecer o material a ser tratado. Há um intermediário nesse processo. E intermediários são lentos. O infravermelho é diferente. Ele utiliza radiação eletromagnética para aquecer diretamente o material alvo. Sem intermediários. Sem necessidade de esperar que o ar esquente. Nos sistemas que desenvolvemos, a velocidade de aquecimento é de 5 a 10 vezes maior do que nos sistemas antigos de ar forçado. É rápido. Muito rápido. Construindo o dispositivo Claro, não se pode simplesmente colocar um aquecedor por infravermelho dentro de uma caixa de papelão e considerar que está tudo resolvido. Especialmente em ambientes limpos. Nós construímos as carcaças dos nossos aquecedores com aço inoxidável de alta qualidade. Isso mantém tudo limpo – sem emissões de gases ou corrosão. Mas aqui está o segredo: a carcaça é, na verdade, um espelho. Nos preocupamos muito com a geometria interna para garantir que todos os fótons sejam refletidos de volta para o material a ser tratado. Se o ângulo estiver errado, mesmo que seja por poucos graus, você está desperdiçando energia e perdendo calor. As desvantagens (e como lidar com elas) O problema é que o infravermelho tem um efeito intenso e rápido. Você não pode simplesmente substituir um sistema de ar quente por um sistema de infravermelho e esperar que funcione perfeitamente. Se o material não conseguir suportar um aumento repentino de temperatura, ele pode se quebrar. Para evitar isso, usamos um controlador PID para programar uma curva de aquecimento gradual. É como um dimmer – nós aumentamos o calor gradualmente, para que o material não sofra danos. O que isso realmente traz para você Quando você para de se preocupar com o volume de ar e passa a se concentrar na energia radiante, duas coisas acontecem. Primeiro, os tempos de pré-aquecimento e de tratamento diminuem drasticamente. Isso significa que você consegue processar muitas unidades por hora. Segundo, seus equipamentos ficam menores. Como não há necessidade de câmaras enormes para a circulação de ar, toda a instalação fica menor. Você consegue produzir mais sem precisar mudar as paredes ou alugar mais espaço de armazenamento.