Reduzindo as emissões de carbono nas salas limpas: Por que o aquecimento por radiação infravermelha realmente funciona
Sejamos honestos: as salas limpas são um desperdício de energia. Se você ainda depende de fornos convencionais, está, na verdade, pagando para aquecer toda a sala só para conseguir aquecer alguns wafer até a temperatura desejada. Isso é um desperdício de dinheiro e também piora sua pegada de carbono.
É por isso que estamos migrando para lâmpadas de aquecimento por radiação infravermelha. Em vez de aquecer todo o ar da sala, essas lâmpadas agem diretamente sobre o substrato. É mais eficiente e evita que suas contas de energia disparem.
Velocidade e eficiência
Usamos emissores de radiação infravermelha de onda curta, pois eles não perdem tempo. Você atinge a temperatura desejada em segundos, e não em minutos. Como a energia é direcionada exatamente para onde é necessária, não há necessidade de usar muita energia por horas a fio. Os tempos de aquecimento diminuem drasticamente. Isso faz com que todo o processo seja muito mais rápido.
Manter a área limpa
Neste setor, até mesmo uma pequena partícula de poeira pode causar problemas. Por isso, usamos invólucros de quartzo de alta pureza. Não há emissão de gases ou partículas que possam danificar o silício. Além disso, esses dispositivos são fáceis de substituir. Quando um tubo se queima – o que acontece com o tempo – basta trocá-lo usando conectores padrão, e você pode voltar a trabalhar imediatamente. Sem precisar perder tempo consertando o equipamento.
Além disso, projetamos o sistema de modo que a radiação seja refletida de volta para o alvo. Isso significa que o sistema de refrigeração não precisa trabalhar tanto para resfriar a sala.
O desafio: controlar o calor
Veja bem, o aquecimento por radiação infravermelha não é mágica. Quando tanta energia é concentrada em uma pequena área, a temperatura sobe bastante. Se você não configurar corretamente os ventiladores ou sistemas de resfriamento, terá problemas. Já vimos suportes se deformarem e sistemas entrarem em modo de segurança por causa do excesso de calor.
Tudo se resume ao equilíbrio. Você obtém uma velocidade de aquecimento incrível, mas precisa saber como lidar com o calor gerado. Se você configurar bem o sistema de resfriamento, tudo ficará fácil.