Grzejnik do suszenia płytek czujników MEMS

Mon, 27 Jul 2026 17:04:12 +0800

Przestańcie grzać maszynę – zacznijcie suszyć płytki.
Jeśli kiedykolwiek pracowaliście przy produkcji elementów typu MEMS, wiecie, jak trudne jest suszenie tych płytek. Trzeba ciągle walczyć z różnymi resztkami materiału, które pozostają na powierzchni płytki.

Stary sposób – użycie standardowych pieców konwekcyjnych – jest po prostu nieefektywny. W efekcie grzeje się całą komorę. To marnotrawstwo energii, a także sprawia, że zewnętrzna część drogiego sprzętu staje się rodzajem gigantycznego radiatora. Często dochodzi do sytuacji, gdy ściany maszyny stają się tak gorące, że mogą poparzyć osobę pracującą przy niej.

Lampa susząca do organicznego półprzewodnika

Tue, 02 Jun 2026 04:14:08 +0800

Na hali litografii nie ma dużo marginesu między soft bake a hard bake. Pół stopnia dryfu może zmienić grubość fotoresistu, przesunąć bias wymiaru krytycznego i nagle wydajność odbiega od specyfikacji. Zbudowaliśmy lampę do suszenia organicznego półprzewodnika, aby zawęzić ten zakres i utrzymać proces pod kontrolą.

Co jest istotne pod maską
Lampa emituje promieniowanie NIR i utrzymuje kontrolę nad spektrum, co pozwala na szybkie, bezkontaktowe ogrzewanie. W całym polu ekspozycji jednorodność termiczna na poziomie wafla utrzymuje się na poziomie ±0,1°C — każdy chip otrzymuje taki sam bilans cieplny. Może pracować w cleanroomach klasy 1–100 bez generowania cząstek, a wydajność pozostaje stabilna przez ponad 5 000 godzin pracy, spadając mniej niż o 5%. Powtarzalność temperatury wypieku fotoresistu między cyklami jest stabilna, a system działa 24/7 bez nieplanowanych przestojów.

Suszenie on Eco-Friendly Warm IR Heaters

Grzejnik do suszenia płytek czujników MEMS

Lampa susząca do organicznego półprzewodnika