Przestańcie grzać maszynę – zacznijcie suszyć płytki. Jeśli kiedykolwiek pracowaliście przy produkcji elementów typu MEMS, wiecie, jak trudne jest...

Na hali litografii nie ma dużo marginesu między soft bake a hard bake. Pół stopnia dryfu może zmienić grubość fotoresistu, przesunąć bias wymiaru...