Sterownik cyfrowego suszarki podczerwieni

Fri, 24 Jul 2026 09:46:23 +0800

Przestań „gotować” swój sprzęt: lepszy sposób na wykorzystanie ciepła emitowanego przez lampy podczerwone
Jeśli kiedykolwiek próbowałeś umieścić lampy podczerwone o dużej mocy w konstrukcji półprzewodnikowej, wiesz, z jakimi trudnościami się boryka się. To ciągła walka z efektem nagrzewania się sprzętu.

Zwykłe lampy to w istocie małe „słońca” – emitują energię we wszystkich kierunkach. Problem polega na tym, że choć połowa tej energii trafia na przedmiot obrabiany, druga połowa tylko nagrzewa wnętrze urządzenia. To straty energii. Co gorsza, to sprawia, że panele i ścianki urządzenia stają się tak gorące, że nikt nie może ich dotknąć.

Jednorodne nagrzewanie suszarki do wafli

Tue, 09 Jun 2026 01:30:44 +0800

Wafer trafia na spin track i zaczyna się odliczanie czasu. Na linii, minuta dryfu temperatury wystarczy, aby przesunąć wymiar krytyczny, a jedna cząstka może zniszczyć całą partię. Starsze suszarki nie utrzymywały jednolitości na całej powierzchni 300 mm przy jednoczesnym zachowaniu czystości. Opracowaliśmy Uniform Heating Wafer Dryer, aby wyeliminować tę zmienność.

Co się liczy „pod maską”
Wewnątrz krótkofalowe emitery podczerwieni są umieszczone w komorze zoptymalizowanej pod kątem reflektora, co pozwala na uzyskanie termicznej jednolitości na poziomie ±0,1°C w obrębie 300 mm, potwierdzonej skalibrowaną mapą 9-punktową. Rampy temperatury przekraczają 10°C/s z kontrolowanym przesterowaniem, dzięki czemu budżet termiczny jest zgodny z recepturami soft bake i hard bake bez nadmiernego utrwalania fotoresistu.
Urządzenie jest dostosowane do pracy w cleanroomie: klasa czystości 1–100, zintegrowany przepływ powietrza z filtracją HEPA, filtracja spalin i materiały o niskim outgassing’u, które eliminują generowanie cząstek w trakcie cyklu. Pętla sterowania to PID z rozdzielczością nastawy 0,05°C, a receptury mogą być zapisywane dla każdego procesu. Ta powtarzalność utrzymuje CD i profil w specyfikacji, zmiana po zmianie.

Naczynie Do Zbi on Eco-Friendly Warm IR Heaters

Sterownik cyfrowego suszarki podczerwieni

Jednorodne nagrzewanie suszarki do wafli