Jak uniknąć wybuchu narzędzi chemicznych używanych do obróbki płytek krzemowych
Bądźmy szczerzy: łączenie lotnych, palnych substancji chemicznych z lampą grzewczą typu IR to recepta na katastrofę. W praktyce masz tu do czynienia z źródłem dużego ryzyka pożaru, znajdującym się w samym środku procesu obróbki.
Znaleźliśmy sposób na rozwiązanie tego problemu. Zamiast używać konstrukcji z otwartymi elementami, które sprawiają, że wszystko jest narażone na wpływy zewnętrzne, otaczamy całe urządzenie szczelną osłoną.
Jak sprawić, by urządzenie było bezpieczne
Standardowe lampy IR zazwyczaj przestają funkcjonować w środowisku chemicznym – ich terminaly elektryczne i punkty uszczelnienia są zbyt podatne na przecieki. Para dostaje się do wnętrza lampy, co powoduje problemy. Aby temu zapobiec, stosujemy dwuetapowy podejście. Najpierw umieszcza się lampę w osłonce z syrenitu lub kwarcu odpornego na chemikalie. Następnie połączenia elektryczne są uszczelniane za pomocą materiałów odpornych na wysokie temperatury i eksplozje.
To proste: eliminujemy możliwość powstania iskry. Ponadto dbamy o to, aby te uszczelniacze były odporne na agresywne środki czyszczące, tak aby obudowa nie uległa uszkodzeniu po kilku miesiącach intensywnego użytkowania.
Jak radzić sobie z ciepłem
Można by pomyśleć, że dodatkowe warstwy ochronne zmniejszą gęstość ciepła emitowanego przez lampę. Ale to nieprawda. Poświęciliśmy wiele czasu na dostosowanie grubości tych osłon tak, aby promieniowanie IR nadal mogło dotrzeć do płytki krzemowej, bez zostawania pochłoniętego przez osłonę.
Jednak istnieje jeden problem: trzeba uważać na efekt termiczny. Dodatkowa warstwa ochronna zwiększa masę urządzenia. To oznacza, że ustawienia PID nie będą już działać tak jak wcześniej. Jeśli zamieniasz te lampy w starszych urządzeniach, nie kopiuj po prostu starych ustawień. Prawdopodobnie przekroczysz założony zakres temperatury, więc zajmij chwilę na ponowne dostosowanie krzywej temperatury.
Jak zainstalować te lampy w swoim urządzeniu
Zaprojektowaliśmy je tak, aby można je było łatwo zastąpić istniejącymi lampami. Ponieważ elementy ochronne są wbudowane w samą lampę, nie musisz budować dużych, ciężkich obudów ochronnych wokół całego urządzenia. Dzięki temu Twoja przestrzeń robocza pozostaje czysta i uporządkowana. Sprawdź tylko, czy przewody elektryczne są odpowiednie dla specyficznej strefy czystej, a wtedy wszystko będzie w porządku.