Verwarmer voor kar in halfgeleiderreinigingsruimte

Thu, 25 Jun 2026 01:58:56 +0800

Op de productielijn wordt thermische afwijkingen in de verwarmingsapparaten niet als belangrijk beschouwd. Ze blijken zich te uiten in een afwijking van 0,3°C tijdens het bakken van de fotoresist. Dit leidt vervolgens tot afwijkingen in de dikte van de lijnen die maandenlang moeten worden gecorrigeerd. We hebben onze verwarmingsapparaten zo ontworpen dat de thermische waarden binnen de gewenste grenzen blijven – binnen het procesfenster, en niet buiten deze grenzen.

Wat technisch gezien belangrijk is We gebruiken elementen met kortegolf-infraroodstraling, geplaatst in een kwartsomhulling. Hierdoor is er een snelle respons en is de thermische massa minimaal. In de werkzone houden we de uniformiteit op niveau van ±0,1°C, bij temperatuurwaarden van 50°C tot 300°C. Dit wordt gemeten met gekalibreerde thermocoupons onder productieomstandigheden. De controle vindt plaats in een gesloten circuit, met meervoudige compensatie, zodat de herhaalbaarheid tussen verschillende batches binnen ±0,2°C blijft.

Wagentje on Eco-Friendly Warm IR Heaters

Verwarmer voor kar in halfgeleiderreinigingsruimte