Verwarmer voor ondersteuning van cryogeen systeem

Sun, 28 Jun 2026 02:11:53 +0800

Op de productiehal is temperatuurstabiliteit geen luxe – het is een essentieel onderdeel van het proces. Bij het drogen van wafers en het hanteren van fotoresistenten kan zelfs een verschil van enkele tienden van een graad tot problemen leiden: kritieke afmetingen kunnen veranderen, er kunnen restanten achterblijven, of er kunnen defecten ontstaan. We hebben onze cryogene systemen uitgerust met heaters die ervoor zorgen dat de thermische condities op de plek waar het substraat in contact komt met het proces stabiel blijven.

Cryogeen on Eco-Friendly Warm IR Heaters

Verwarmer voor ondersteuning van cryogeen systeem