http://warm-ir-heater-eco.com/nl/tags/coater/ Recent content in Coater on Eco-Friendly Warm IR Heaters Hugo nl Tue, 30 Jun 2026 02:12:20 +0800 http://warm-ir-heater-eco.com/nl/posts/spin-coater-bake-lamp/ Tue, 30 Jun 2026 02:12:20 +0800 http://warm-ir-heater-eco.com/nl/posts/spin-coater-bake-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-heater-eco.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="Spincoater ovenlamp"></p> <p>Op de lithografieafdeling is het ‘bake-proces’ geen soort opwarmproces; het bepaalt juist de structuur van de fotorezerve. Een afwijking van 2°C tijdens het zachte of harde bakken kan ertoe leiden dat de controle over de belangrijke afmetingen niet meer mogelijk is, en dat er onzuiverheden op het oppervlak van de wafer ontstaan. De lamp die wordt gebruikt voor het bakken heeft één doel: de procestemperatuur constant houden, minuut na minuut.</p> <p><strong>Wat belangrijk is onder de motorkap</strong><br> Wij kiezen voor halogeenemissoren met kortegolf-infraroodlicht, die zich bevinden in een kwartsomhulsel. Ze reageren snel en blijven stabiel. Hierdoor wordt de thermische uniformiteit op het niveau van de wafer behouden, binnen een marge van ±0,1°C. Bovendien zorgt dit voor een nauwkeurige temperatuurcontrole tijdens het bakken, waardoor het thermische evenwicht behouden blijft.</p>