Waarom we overstappen op UHP-infraroodsystemen voor het drogen van halfgeleiders
De semiconductie-industrie maakt steeds meer gebruik van moderne technologieën in plaats van de ouderwetse conventionele ovens. Er is een grote verschuiving te zien richting ultra-hoogzuivere infraroodverwarmingslampen. Dit is geen gewone industrietrend; het gaat erom om aan de strenge eisen met betrekking tot het gebruik van loodvrije materialen en milieuvriendelijke methoden te voldoen, zonder dat er veel energie wordt verspild.
Het begrijpen van de fysica achter dit proces
Stel je voor hoe een gewone oven werkt: eerst wordt de lucht verhit, en pas daarna wordt de chip door die hete lucht verhit. Dat gebeurt langzaam en is inefficiënt.
UHP-infraroodlampen werken op een andere manier. Ze gebruiken kortegolfradiatie om energie direct naar het substraat te sturen. De hitte blijft dus niet hangen in de wanden van de kamer, maar bereikt rechtstreeks het doeloppervlak.
Het goede nieuws is dat je de omvang van je drooginstallatie kunt verminderen, zonder dat de productiecapaciteit afneemt. Dit is gunstig voor zowel de ruimtebesparing als de energiekosten.
Het voorkomen van contaminatie
In een schone ruimte is uitgasen een groot probleem. Eén klein beetje vuil in de lucht kan al tot problemen leiden.
Daarom gebruiken we hoogzuiver synthetisch kwarts en specifieke halogeenvullers. We moeten ervoor zorgen dat er geen metalen contaminanten in het productieproces terechtkomen. Deze lampen kunnen hoge temperaturen weerstaan, zodat er geen deeltjes op de chips terechtkomen.
Het compromis: snelheid versus precisie
UHP-lampen zijn zeer krachtig. De opwarmtijd is bijna instant.
Maar deze snelheid heeft ook nadelen. Omdat de energie zo geconcentreerd is, moet je zeer zorgvuldig zijn met de snelheid van de transportband en de afstand tot de lamp. Als de PID-regelaars niet goed zijn ingesteld, kunnen de randen van de chips beschadigen. Het vereist wat finesse om dit perfect te krijgen.
Het verbeteren van het proces
Infrarooddrogen is een droog proces. Dit betekent dat je geen chemische oplosmiddelen of katalysatoren meer nodig hebt, zoals dat vroeger gebruikelijk was in oudere systemen.
Door over te stappen op UHP-infraroodsystemen, worden deze schadelijke stoffen direct uit het productieproces verwijderd. Dit is de gemakkelijkste manier om een droogproces met nul emissies te realiseren.