Op de productielijn wordt thermische afwijkingen in de verwarmingsapparaten niet als belangrijk beschouwd. Ze blijken zich te uiten in een afwijking van 0,3°C tijdens het bakken van de fotoresist. Dit leidt vervolgens tot afwijkingen in de dikte van de lijnen die maandenlang moeten worden gecorrigeerd. We hebben onze verwarmingsapparaten zo ontworpen dat de thermische waarden binnen de gewenste grenzen blijven – binnen het procesfenster, en niet buiten deze grenzen.
Wat technisch gezien belangrijk is We gebruiken elementen met kortegolf-infraroodstraling, geplaatst in een kwartsomhulling. Hierdoor is er een snelle respons en is de thermische massa minimaal. In de werkzone houden we de uniformiteit op niveau van ±0,1°C, bij temperatuurwaarden van 50°C tot 300°C. Dit wordt gemeten met gekalibreerde thermocoupons onder productieomstandigheden. De controle vindt plaats in een gesloten circuit, met meervoudige compensatie, zodat de herhaalbaarheid tussen verschillende batches binnen ±0,2°C blijft.
Het behuizing van de verwarmingsapparaten is gemaakt van roestvrij staal, met goed afgesloten naden. De luchtcirculatie is zo ingericht dat er zo min mogelijk deeltjes vrijkomen. De compatibiliteit met schone ruimtes van klasse 1–100 wordt gewaarborgd door regelmatige controles op de hoeveelheid deeltjes in de uitlaatlucht.
Waarom dit werkt in de praktijk Bij het drogen en reinigen van wafers houdt de verwarmingsapparaat de dauwpunttemperatuur stabiel, zodat het verwijderen van water consequent verloopt – zonder thermische schokken. In de lithografie betekent deze stabiliteit dat de controle van het bakproces nauwkeuriger is, waardoor er minder restanten van oplosmiddelen overblijven en er minder afwijkingen in de dikte van de lijnen optreden.
Voor het drogen van producten in verpakkingen verkort de snelle opwarmprocedure de tijd die nodig is om de producten te drogen, terwijl de glasovergangstemperatuur nog steeds binnen de vereiste grenzen blijft. De energieverbruik wordt beheerd door optimale instellingen van het apparaat. Het voorspelbare thermische profiel vermindert het aantal defecten en herwerkingsklussen.
Wat je moet voorbereiden Voor de installatie moet de spanning worden aangepast en moet er voldoende stroom beschikbaar zijn via een aparte aansluiting. De apparaten moeten ook goed worden geplaatst, zodat de luchtcirculatie gelijkmatig is. De responscurve is het snelst wanneer de kamer schoon en voorverwarmd is. Als er koude materialen in de kamer worden geplaatst, zal er eerst een tijdelijke afwijking optreden, totdat het controlecircuit zich heeft aangepast.
Plan een korte testperiode om de instellingen af te stellen op basis van je eigen wafers en carriers.