http://warm-ir-heater-eco.com/ms/tags/trolli/ Recent content in Trolli on Eco-Friendly Warm IR Heaters Hugo ms Thu, 25 Jun 2026 01:58:56 +0800 http://warm-ir-heater-eco.com/ms/posts/semiconductor-clean-room-trolley-heater/ Thu, 25 Jun 2026 01:58:56 +0800 http://warm-ir-heater-eco.com/ms/posts/semiconductor-clean-room-trolley-heater/ <p><img src="http://warm-ir-heater-eco.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="Pemanas untuk bilik bersih bahan separuh konduktor"></p> <p>Di bilik pembersihan yang bersih ini, perubahan suhu yang berlaku pada pemanas yang digunakan tidak dianggap sebagai masalah yang serius. Perubahan suhu tersebut hanya sekitar 0.3°C semasa proses memanaskan bahan fotoresist. Perubahan ini juga menyebabkan perubahan lebar garisan yang dihasilkan, dan hal ini memerlukan masa seminggu untuk diperbaiki. Kami membina pemanas khusus untuk bilik pembersihan ini agar suhu tetap stabil, iaitu dalam lingkungan yang ditetapkan, bukan dalam julat variasi yang tidak diinginkan.</p> <p><strong>Apa yang penting dari segi teknikalnya</strong><br> Kami menggunakan elemen inframerah gelombang pendek yang terbungkus dalam lapisan kuarsa – ia memberikan respons yang cepat dan mempunyai jisim haba yang rendah. Di kawasan kerja, keseragaman suhu pada wafer dapat dipertahankan pada tahap ±0.1°C, dari suhu 50°C hingga 300°C. Pengukuran dilakukan menggunakan termokopel yang telah dikalibrasi, di bawah beban yang setara dengan keadaan pengeluaran sebenar. Sistem kawalan adalah jenis tertutup, dengan kompensasi pelbagai zon, sehingga ketepatan antara sesi pengeluaran yang berbeza tetap berada dalam lingkungan ±0.2°C.</p>