http://warm-ir-heater-eco.com/ms/tags/photoresist/ Recent content in Photoresist on Eco-Friendly Warm IR Heaters Hugo ms Thu, 02 Jul 2026 04:06:17 +0800 http://warm-ir-heater-eco.com/ms/posts/photoresist-curing-infrared-lamp/ Thu, 02 Jul 2026 04:06:17 +0800 http://warm-ir-heater-eco.com/ms/posts/photoresist-curing-infrared-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-heater-eco.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="Lampu inframerah untuk proses pengerasan bahan photoresist"></p> <p>Dalam proses litografi, apa yang penting ialah kawalan suhu yang tepat semasa proses pemanasan wafer. Sebarang perubahan suhu sebanyak setengah darjah semasa proses pemanasan akan mengganggu kawalan ketebalan lapisan pelindung dan lebar garisan pada wafer tersebut. Hanya menetapkan nilai tetap untuk parameter tertentu tidak cukup untuk memastikan kualiti produk yang baik. Apa yang diperlukan ialah keseimbangan suhu yang stabil dari masa ke masa.</p> <p><strong>Apa yang penting dari segi teknikal</strong><br> Lampu inframerah yang digunakan untuk proses pengeringan bahan fotoresist mampu mengekalkan suhu wafer dalam lingkungan ±0.1°C. Sistem ini juga memastikan suhu tetap stabil sepanjang proses pemanasan. Spektrum cahaya inframerah dipilih kerana ia mampu menyebarkan haba dengan efektif tanpa menyebabkan tekanan yang berlebihan pada substrat. Badan lampu dan komponen optiknya direka untuk sesuai digunakan dalam persekitaran bilik bersih kelas 1–100. Tidak ada pembentukan zarah-zarah kecil semasa proses pemanasan, kerana hal ini sudah terjamin melalui reka bentuk bahan, geometri, dan sistem pengudaraan. Anda akan mendapat hasil yang <a href="https://o-yate.com">konsisten</a> walaupun proses berlangsung lebih dari 5,000 jam, serta kawalan proses yang boleh beroperasi 24/7.</p>