http://warm-ir-heater-eco.com/ms/tags/penyapu-permukaan/ Recent content in Penyapu Permukaan on Eco-Friendly Warm IR Heaters Hugo ms Tue, 30 Jun 2026 02:12:20 +0800 http://warm-ir-heater-eco.com/ms/posts/spin-coater-bake-lamp/ Tue, 30 Jun 2026 02:12:20 +0800 http://warm-ir-heater-eco.com/ms/posts/spin-coater-bake-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-heater-eco.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="Lampu pengering untuk mesin spin coater"></p> <p>Di bilik litografi, proses pembakaran bukan <a href="https://o-yate.com">sekadar</a> langkah pemanasan sahaja. Ia bertujuan untuk menetapkan profil fotoresist yang digunakan. Perubahan suhu sebanyak 2°C semasa proses pembakaran boleh mengganggu kawalan dimensi yang tepat, dan menyebabkan kekotoran pada permukaan wafer. Lampu yang digunakan dalam proses pembakaran ini mempunyai satu fungsi sahaja, iaitu untuk mengekalkan suhu proses dengan ketepatan yang tinggi, dari minit ke minit.</p> <p><strong>Apa yang penting dalam reka bentuk sistem ini</strong><br> Kita menggunakan pemancar inframerah gelombang pendek yang berada di dalam kotak kuarza, kerana ia memberikan tindak balas yang cepat dan stabil. Ini memastikan keseragaman suhu pada tahap wafer, dalam lingkungan ±0.1°C, serta memastikan ketepatan suhu pembakaran fotoresist. Reka bentuk sistem ini juga memastikan keserasian dengan standard bilik bersih kelas 1–100: bahan-bahan yang digunakan mempunyai kadar pelepasan gas yang rendah, dan laluan udara dikawal dengan teliti. Tiada pembentukan zarah debu merupakan prinsip asas reka bentuk ini.</p>