Pemanas untuk mengeringkan wafer sensor MEMS

Mon, 27 Jul 2026 17:04:12 +0800

Hentikan proses pemanasan mesin, mulakan proses pengeringan wafer.

Jika anda pernah bekerja dalam bidang pembuatan MEMS, anda pasti tahu betapa sukar sekali untuk mengeringkan wafer. Anda perlu berjuang melawan sisa-sisa bahan yang masih melekat pada permukaan wafer tersebut.

Cara lama, iaitu menggunakan ketuhar konvensional, sangat tidak efektif. Kaedah ini menyebabkan seluruh ruang di dalam mesin menjadi panas. Ini merupakan pembaziran tenaga, dan ia juga menyebabkan permukaan peralatan yang mahal itu menjadi panas sehingga boleh membahayakan orang yang berada di sekitarnya.

Lampu pengering semikonduktor organik

Tue, 02 Jun 2026 04:14:08 +0800

Pada tingkat litografi, anda tidak mempunyai banyak ruang untuk bergerak antara soft bake dan hard bake. Perubahan setengah darjah boleh menggerakkan ketebalan photoresist, mengalihkan bias dimensi kritikal, dan tiba-tiba hasil anda tidak memenuhi spesifikasi. Kami membina lampu pengering semikonduktor organik untuk mengetatkan julat itu dan memastikan proses tidak keluar dari kawalan.

Apa yang penting di dalamnya
Lampu ini memancarkan NIR ke wafer dan mengawal spektrum dengan ketat, supaya anda mendapat pemanasan pantas tanpa sentuhan. Sepanjang medan pendedahan, keseragaman terma pada tahap wafer dikekalkan pada ±0.1°C—setiap die menerima jumlah haba yang sama. Ia beroperasi di bilik bersih Kelas 1–100 tanpa mengeluarkan zarah, dan output kekal stabil selama lebih 5,000 jam, turun kurang daripada 5%. Ketepatan suhu bakar photoresist dari satu pusingan ke pusingan seterusnya kukuh, dan sistem beroperasi 24/7 tanpa downtime tidak dirancang.

Pengeringan on Eco-Friendly Warm IR Heaters

Pemanas untuk mengeringkan wafer sensor MEMS

Hentikan proses pemanasan mesin, mulakan proses pengeringan wafer.

Lampu pengering semikonduktor organik