Lampu pengering untuk mesin spin coater
Di bilik litografi, proses pembakaran bukan sekadar langkah pemanasan sahaja. Ia bertujuan untuk menetapkan profil fotoresist yang digunakan....
Suhu pembakaran lembut fotoresis IR
Di lantai litografi, soft bake bukan sekadar pemanasan awal. Ia adalah langkah yang menetapkan profil pelarut fotoresist, mengunci ketebalan filem,...