Hentikan proses pemanasan mesin, mulakan proses pengeringan wafer.
Jika anda pernah bekerja dalam bidang pembuatan MEMS, anda pasti tahu betapa sukar sekali untuk mengeringkan wafer. Anda perlu berjuang melawan sisa-sisa bahan yang masih melekat pada permukaan wafer tersebut.
Cara lama, iaitu menggunakan ketuhar konvensional, sangat tidak efektif. Kaedah ini menyebabkan seluruh ruang di dalam mesin menjadi panas. Ini merupakan pembaziran tenaga, dan ia juga menyebabkan permukaan peralatan yang mahal itu menjadi panas sehingga boleh membahayakan orang yang berada di sekitarnya.
Itulah sebabnya kita beralih kepada kaedah pemanasan menggunakan sinar inframerah.
Inilah caranya:
Daripada memanaskan udara, kita menggunakan lampu inframerah untuk menghantar radiasi elektromagnetik secara langsung ke permukaan wafer. Kita menggunakan sinar inframerah berfrekuensi rendah kerana ia dapat menembusi lapisan cecair pada permukaan wafer dengan lebih cepat berbanding sinar inframerah berfrekuensi tinggi.
Dengan cara ini, wafer akan mendapat haba yang diperlukan, manakala bahagian lain dari mesin tetap sejuk.
Namun, kita tidak boleh hanya mengarahkan lampu tersebut ke arah wafer tanpa memikirkan akibatnya. Kita perlu menguruskan masalah “kebocoran” haba tersebut.
Kita perlu memastikan panjang fokus lampu tersebut tepat, dan menggunakan reflektor untuk memfokuskan sinar tersebut. Jika sinar tersebut terlalu lebar, haba yang berlebihan akan tersebar ke seluruh bahagian mesin.
Hasilnya, suhu permukaan mesin akan tetap rendah. Para pekerja pun boleh bergerak bebas di sekitar mesin tanpa perlu risau tentang risiko terbakar.
Tetapi, ini bukanlah penyelesaian yang sempurna. Ada beberapa kelemahan.
Lampu inframerah berintensiti tinggi memang sangat efektif untuk percepatan proses pengeringan. Namun, ia memerlukan tenaga yang banyak. Ia juga membebankan sistem bekalan kuasa mesin. Selain itu, lampu tersebut perlu diposisikan dengan tepat. Jika posisinya salah sedikit saja, haba yang berlebihan akan menyebabkan kerosakan pada wafer.
Selain itu, kita juga perlu memastikan kipas penyejuk berfungsi dengan baik. Jika sistem penyejukan tidak berfungsi dengan baik, lampu tersebut akan cepat rosak.
Pada akhirnya, kita perlu bekerjasama dengan prinsip fizik, bukannya melawan prinsip tersebut. Mengapa perlu membuang tenaga untuk menyejukkan mesin yang sudah panas, sedangkan kita boleh saja berhenti memanaskannya dari awal?