http://warm-ir-heater-eco.com/ko/tags/ir/ Recent content in IR on Eco-Friendly Warm IR Heaters Hugo ko Mon, 27 Jul 2026 17:11:56 +0800 http://warm-ir-heater-eco.com/ko/posts/engineering-safety-for-ir-heating-in-explosive-chemical-cleaning-environments/ Mon, 27 Jul 2026 17:11:56 +0800 http://warm-ir-heater-eco.com/ko/posts/engineering-safety-for-ir-heating-in-explosive-chemical-cleaning-environments/ <p><img src="http://warm-ir-heater-eco.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="적외선 램프용 알루미늄 반사체"></p> <p><strong>휘발성 화학물질을 사용할 때의 안전 관리법</strong><br> 솔직히 말해서, 산업용 세척 공정에 적외선 램프를 사용하는 것은 마치 불과 장난을 치는 것과 같습니다. 주변에는 가연성 증기가 있고, 부식성 물질들도 있어서 모든 것을 파괴할 수 있습니다. 일반적인 램프를 그곳에 사용한다면, 그건 재앙을 초래하는 행동입니다.</p> http://warm-ir-heater-eco.com/ko/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ Sun, 19 Jul 2026 10:18:39 +0800 http://warm-ir-heater-eco.com/ko/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ <p><img src="http://warm-ir-heater-eco.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="웨이퍼용 정밀 IR 센서"></p> <p>정밀한 IR 가열을 활용해 웨이퍼 처리 과정에서 탄소 배출을 줄이는 방법<br> 반도체 제조 공정에 종사해본 사람이라면 열적 정밀도가 얼마나 중요한지 잘 알 것입니다. 오랫동안 우리는 치료나 어닐링 작업을 위해 대형 저항식 오븐을 사용해왔지만, 솔직히 말해서 이런 오븐들은 에너지를 많이 소비합니다. 만약 진정으로 탄소 중립을 실현하고 싶다면, 에너지 낭비를 줄여야 합니다.<br> 이때 바로 IR 가열 램프가 유용해집니다.</p> http://warm-ir-heater-eco.com/ko/posts/voltage-regulator-for-fab-ir/ Sat, 20 Jun 2026 02:42:25 +0800 http://warm-ir-heater-eco.com/ko/posts/voltage-regulator-for-fab-ir/ <p><img src="http://warm-ir-heater-eco.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="팹 IR용 전압 조절기"></p> <p>팹에서는 포토레지스트를 가열할 때 1°C의 온도 변동도 결코 ‘작은 오차’가 아닙니다. 이러한 오차는 회선의 너비 변화, 불순물 발생, 그리고 폐기물 증가로 이어집니다. 적외선 가열 방식은 매우 정밀할 수 있지만, 적외선 소스에 공급되는 전압이 충분히 안정적이어야 합니다. 저희는 이러한 제약 조건을 고려하여 적외선 전압 조절기를 설계했습니다.</p> http://warm-ir-heater-eco.com/ko/posts/photoresist-soft-bake-temperature-ir/ Sun, 31 May 2026 02:55:22 +0800 http://warm-ir-heater-eco.com/ko/posts/photoresist-soft-bake-temperature-ir/ <p><img src="http://warm-ir-heater-eco.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="포토레지스트 소프트 베이크 온도 IR"></p> <p>리소그래피 작업장에서는 소프트 베이크가 단순한 워밍업 단계가 아니다. 이는 포토레지스트 내 용제 프로필을 설정하고, 필름 두께를 고정하며, 노광 및 현상 과정에 직접 영향을 미치는 치수 공차를 결정하는 단계다. 베이크가 불균일하면 서서히 변화하는 것이 아니라, 선폭 변동, 사이드월 풋팅(sidewall footing), 그리고 파라미터 테스트에서 타격을 입는 수율 저하가 발생한다.</p>