http://warm-ir-heater-eco.com/ko/tags/%ED%8A%B8%EB%A1%A4%EB%A6%AC/ Recent content in 트롤리 on Eco-Friendly Warm IR Heaters Hugo ko Thu, 25 Jun 2026 01:58:56 +0800 http://warm-ir-heater-eco.com/ko/posts/semiconductor-clean-room-trolley-heater/ Thu, 25 Jun 2026 01:58:56 +0800 http://warm-ir-heater-eco.com/ko/posts/semiconductor-clean-room-trolley-heater/ <p><img src="http://warm-ir-heater-eco.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="반도체 청정실용 트롤리 히터"></p> <p>생산 현장에서는 트롤리 히터의 열 변동이 큰 문제로 인식되지 않습니다. 오히려 포토레지스트를 가열할 때 0.3°C 정도의 오차가 발생하며, 이로 인해 회선의 폭에도 오차가 생깁니다. 이러한 문제를 해결하기 위해 우리는 클린룸용 트롤리 히터를 설계할 때 열 변동을 프로세스 범위 내에 유지하도록 했습니다.</p>