http://warm-ir-heater-eco.com/ko/tags/%EC%BD%94%ED%8C%85%EA%B8%B0/ Recent content in 코팅기 on Eco-Friendly Warm IR Heaters Hugo ko Tue, 30 Jun 2026 02:12:20 +0800 http://warm-ir-heater-eco.com/ko/posts/spin-coater-bake-lamp/ Tue, 30 Jun 2026 02:12:20 +0800 http://warm-ir-heater-eco.com/ko/posts/spin-coater-bake-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-heater-eco.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="스핀 코팅기 베이크 램프"></p> <p>리소그래피 공정에서의 베이킹은 단순한 예열 과정이 아닙니다. 이 과정을 통해 포토레지스트의 성질이 결정됩니다. 소프트 베이킹이든 하드 베이킹이든, 온도가 2°C만 변동해도 정밀한 치수 제어에 문제가 생기고, 웨이퍼 표면에 이물질이 남게 됩니다. 스핀 코팅기의 베이킹 램프는 매분마다 일정한 온도를 유지하는 역할을 합니다.</p>