http://warm-ir-heater-eco.com/ko/tags/%EC%A7%80%EC%9B%90%ED%95%98%EB%8B%A4/ Recent content in 지원하다 on Eco-Friendly Warm IR Heaters Hugo ko Sun, 28 Jun 2026 02:11:53 +0800 http://warm-ir-heater-eco.com/ko/posts/cryogenic-system-support-heater/ Sun, 28 Jun 2026 02:11:53 +0800 http://warm-ir-heater-eco.com/ko/posts/cryogenic-system-support-heater/ <p><img src="http://warm-ir-heater-eco.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="저온 시스템용 보조 히터"></p> <p>팹 내에서는 온도의 안정성이 단순히 바람직한 요소가 아니라, 공정 자체의 핵심적인 요소입니다. 웨이퍼 건조나 포토레지스트 처리 시에는 단 몇 십 분의 일 도의 온도 변동만으로도 중요한 치수에 영향을 미치거나 잔여물이 남거나 표면 결함이 발생할 수 있습니다. 따라서 저희는 기판과 공정 장비가 만나는 부분의 온도를 정확하게 유지하기 위해 특별한 가열기를 개발했습니다.</p> http://warm-ir-heater-eco.com/ko/posts/molybdenum-support-infrared-lamp/ Sat, 06 Jun 2026 01:44:27 +0800 http://warm-ir-heater-eco.com/ko/posts/molybdenum-support-infrared-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-heater-eco.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="몰리브덴 지지 적외선 램프"></p> <p>웨이퍼 플로어에서 포토레지스트 베이크는 단순한 온도 조절 단계를 넘어서는, 열 계약(thermal contract)입니다. 소프트 베이크나 하드 베이크에서 1℃의 편차는 중요한 치수 변화를 초래하며, 이는 라인 수율 감소로 이어집니다. 우리는 이러한 열 라인을 안정적으로 유지하기 위해 몰리브데넘 지지 구조를 적용한 적외선 램프를 개발했습니다. 이는 사이클별로 일관된 온도 제어를 보장합니다.</p>