http://warm-ir-heater-eco.com/ko/tags/%EB%B6%80%EB%93%9C%EB%9F%AC%EC%9A%B4/ Recent content in 부드러운 on Eco-Friendly Warm IR Heaters Hugo ko Sun, 31 May 2026 02:55:22 +0800 http://warm-ir-heater-eco.com/ko/posts/photoresist-soft-bake-temperature-ir/ Sun, 31 May 2026 02:55:22 +0800 http://warm-ir-heater-eco.com/ko/posts/photoresist-soft-bake-temperature-ir/ <p><img src="http://warm-ir-heater-eco.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="포토레지스트 소프트 베이크 온도 IR"></p> <p>리소그래피 작업장에서는 소프트 베이크가 단순한 워밍업 단계가 아니다. 이는 포토레지스트 내 용제 프로필을 설정하고, 필름 두께를 고정하며, 노광 및 현상 과정에 직접 영향을 미치는 치수 공차를 결정하는 단계다. 베이크가 불균일하면 서서히 변화하는 것이 아니라, 선폭 변동, 사이드월 풋팅(sidewall footing), 그리고 파라미터 테스트에서 타격을 입는 수율 저하가 발생한다.</p>